气体液体配比器主要用于气体液体混合配比,液体加热产生气体并用其他气体做载气,为等离子沉积cvd沉积或其他特定设备提供气氛环境. 控制方式采用集成化模块控制 功能延伸性强 根据客户要求随意添加,
该气体配比器也可以选择多种液体和气体混合。详情请联系客服人员沟通
技术资料
产品型号 | KT-S2YQ | KT-C2YQ | |||
流量计类型 | 浮子流量计+蠕动泵 | 质量流量计+蠕动泵 | |||
产品类型 | 经济型/手动控制 | 高精度型/快速响应型/智能控制 触摸屏控制 | |||
可选量程 | 气体60-600ml/min | 液体 0.1-999ml/min | 气体 0-500ml/min | 液体 0.1-999ml/min | |
产品精度 | 读数X±4% | 0.2ml | 量程X±1% | 0.2ml | |
液体加热温度 | 室温-180度 | 室温-180度 | |||
功耗 | 200W | 240W | |||
系统压力 | ≤0.1MPa | ≤0.1MPa | |||
连接管道 | φ3-6mm316不锈钢管道 | φ3-6mm316不锈钢管道 | |||
截止阀类型 | 球阀 | 电磁阀 | |||
单向阀开启压力 | 0.02Mpa | 0.02Mpa | |||
压力显示量程 | 0-0.4Mpa | 0-0.2Mpa | |||
控制方式 | 手动调节 | 7寸触摸屏智能调节 | |||
时间设定 | 0-99999 | ||||
清洗功能 | 一键清洗 | ||||
程序控制 | 5段可编程序(时间-流量随意设定值) | 5段可编程序(时间-流量随意设定值) | |||
压力显示 | 有机械压力表 | 有(出气压力检测) | |||
气体缓冲罐 | 有 | ||||
流量累计 | 有(累计当前运行总流量) | ||||
可选进出气口接头形式 | 3MM 6MM 1/8mm 1/4mm 双卡套接头 | 3MM 6MM 1/8mm 1/4mm双卡套接头 | |||
备注:气体液体量程范围根据客户现场需要选择 设备阀门管件均为不锈钢材质 可耐微腐蚀气体或液体 如强腐蚀性气体液体请与客服沟通解决方案 建议:为了尽量避免输出气体冷凝 请减少输出管道长度,或者在输出管道餐绕加热带 |
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