日本KOFLOC EX700系列气体质量流量计-数字式经济型
EX700全新数字式气体质量流量计
EXE-FLOW(TM)是Exact“准确的流量测量”
Excellent以“***的功能”为理念进行产品化。
从小流量(F.S.10scm)到大流量(F.S.200slm)，并准备了11范围标准库存。
搭载新型高性能传感器的低成本模型
小型轻量、单电源DC24V驱动
搭载RS-485通信功能标准
RoHS、CE标准对应
用显示器一体型简单操作：
瞬间/累计流量显示；气体种类切换；CF任意设定
上下限警告设定；流量单位变更；可选针阀
性能参数
EX700系列气体质量流量计-数字式经济型
量程(N2)
10SCCM-200SLPM
气体
非腐蚀气体，部分腐蚀气体
精度
10SCCM-20SLM
±1.0%FS
50-200SLM
±1.5%FS
重复性
±0.2%FS
响应时间
2秒以内
耐压
1.0Mpa
温度范围
5~50℃
精度***温度
15~35℃
保存温度
-10~60℃
湿度范围
10-90%RH(不能结露)
材质
本体SUS316、SUS316L
密封圈VITON、NBR、PTFE
电气接口
DB9
通讯
RS485，Modbus-RTU
输出信号
0-5V\1-5V\4-20mA可选
供电电压
+24VD
消耗电路
100mA
管路连接
1/4卡套，20SLM以内
3/8卡套，50-200SLM
可选
针阀
电气连接
DB9针脚定义：
针脚
定义
1针脚
电源 +24V
2针脚
电源 COM
3针脚
报警1
4针脚
报警2
5针脚
报警COM
6针脚
模拟输出
7针脚
485+
8针脚
485-
9针脚
模拟、通讯COM
使用注意
一：进气管道上建议安装上的过滤器、油水分离器使用，***气体的干燥干净《湿度不超过90%(一定不能进水)、杂质粉尘不超过20微米》。
二：用肥皂水对管路进行泄漏检测时，只能将肥皂水喷洒在管路接头上，不能喷在仪表或电气插头上。
三：安装前，请将设备管路进行整体吹扫。
四：耐压1.0Mpa，进口压力5公斤。
五：需要进行零点漂移清零的时候，确认进/出口没流量没压力下 再操作。
因为质量流量控制器的作用可以测量出水的温度，保持良好的水温状态，是我们可以使用舒服的水温来洗澡或供暖保持冬天室内的温度，不容易被热水***、室内供暖温度合适浮子流量计由下而上的流体通过直立的测量管时，浮子在压差的作用下上升、浮子上升的高度即代表流量的大小STS大部分产品除了提供316L材质为还可以提供钛、哈氏合金等材质应用腐蚀恶劣工况2、Alicat和巧克力的合作Alicat工程师建议使用带有高精度校准性能的MCH系列气体质量流量控制器来改进这一过程气体质量流量计种类Alicat质量流量计采用的测流压差测量技术是多种流量测量技术之一，本文将对目前主要的气体流量测量方法作一简单介绍艾里卡特MCV是旧版MFC的插入式替代品，配有集成式启动截止阀Alicat已经具有了一种的、多功能的设备，能够验证GC性能的这些关键方面二：用肥皂水对管路进行泄漏检测时，只能将肥皂水喷洒在管路接头上，不能喷在仪表或电气插头上该新闻主要报道了Alicat质量流量控制器在VentecLife公司VOCSN呼吸机生产线上的应用
而这半导体行业中最常用的化学气相沉积法整个过程中各种气体的比例控制依靠气体质量流量计/质量流量控制器来实现则就显的尤为重要您可参考我们的通讯方式页面了解更多信息热式气体质量流量控制器和气体质量流量计的工作原理及所能测控流体介质热式气体质量流量控制器和气体质量流量计采用热扩散原理，热扩散技术是一种在苛刻条件下任然具有性能优良、可靠性高的技术新型测控技术MFC的工作压差范围通常为0.1~0.3MPa,若压差低于低值(0.1MPa),有可能控制达不到满量程值;若高于值(0.3MPa),有可能关闭时流量不能小于2%F.S2、消除损伤：离子植入后回火是为了修复因高能加速的离子直接打入芯片而产生的损毁区（进入底材中的离子行进中将硅原子撞离原来的晶格位置，致使晶体的特性改变）同时气体质量流量控制器/质量流量计又有很宽的工作压力范围，气体质量流量控制器可以适用于多种气体介质，并且还有很宽的流量方法质量流量控制器的工作压差范围概念质量流量控制器(MFC)中设置有一个气体流量调节阀门,阀门能使通过质量流量控制器的流量从零调节到测量的满量程,在工作的过程当中,控制器的入口和出口之间会产生一个气压降,即压差流量计投放使用之后就会涉及到操作和安装等一些程序，这些流程厂家在制造流量计时就已经考虑到了，所以消费者只要购买了气体质量流量计，后续的安装会有厂家进行，无需消费者自己动手，而流量计的操作也非常的简单方便，配上厂家制定的流量计说明书就可以操作***的质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器使Alicat成为航天发展、测试和实验的一部分，从驾驶舱到有效载荷，再到推进器
