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低成本气体质量流量计流量控制器

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博思飞尔(上海)仪器科技有限公司
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产品简介咨询15201873971

FAC系列采用毛细管热温差式传感器,测量精度不受温度和压力影响,基体采用316L不锈钢,适应有毒和腐蚀性气体,工作压力可达750 Psi。模拟测量控制电路,输出信号0~5V/4~20mA,电气接口部分采用浪涌抑制和过压过流保护电路,确保系统稳定可靠运行。FAC系列已通过CE和Rohs认证,是低成本应用的解决方案,具体细节或者参数可电话沟通。


性能指标

流量精度:±1%  F.S 

重复性:±0.2% F.S

控制范围:2%~*** F.S

响应时间:<2s

温度系数:Zero:<0.05% of F.S./℃. Span: <0.1% of S.P. /℃

压力系数:0.2% of S.P. / Bar

工作温度:0~50 ℃

泄漏率 :1x10-9 atm. cc/sec He

预热时间:5 min精度达到±2% F.S(30 min达到精度)


电气参数

电源:+15~24V dc

功耗:10W(MFC);3W(MFM)

模拟信号:0-5V / 4-20mA

电气接口:9Pin D-Connector(Male)


机械参数

阀门类型:常闭阀(MFM无意义)

基体材质:316L不锈钢

密封材质:氟橡胶;三元乙丙橡胶;丁腈橡胶

气路接口:1/8、1/4、3/8、φ3、φ6、φ9卡套或VCR


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