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产品详情
FAC系列采用毛细管热温差式传感器，测量精度不受温度和压力影响，基体采用316L不锈钢，适应有毒和腐蚀性气体，工作压力可达750 Psi。模拟测量控制电路，输出信号0~5V/4~20mA，电气接口部分采用浪涌抑制和过压过流保护电路，确保系统稳定可靠运行。FAC系列已通过CE和Rohs认证，是低成本应用的解决方案。
性能指标
| 流量精度 | ±1% F.S |
| 重复性 | ±0.2% F.S |
| 控制范围 | 2%~*** F.S |
| 响应时间 | <2s |
| 温度系数 | Zero:<0.05% of F.S./℃. Span: <0.1% of S.P. /℃ |
| 压力系数 | 0.2% of S.P. / Bar |
| 工作温度 | 0~50 ℃ |
| 泄漏率 | 1x10-9 atm. cc/sec He |
| 预热时间 | 5 min精度达到±2% F.S（30 min达到精度） |
电气参数
| 电源 | ＋15~24V dc |
| 功耗 | 10W（MFC）；3W（MFM） |
| 模拟信号 | 0-5V / 4-20mA |
| 电气接口 | 9Pin D-Connector（Male） |
机械参数
| 阀门类型 | 常闭阀（MFM无意义） |
| 基体材质 | 316L不锈钢 |
| 密封材质 | 氟橡胶；三元乙丙橡胶；丁腈橡胶 |
| 气路接口 | 1/8、1/4、3/8、φ3、φ6、φ9卡套或VCR |
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- biosflow
- FAC-300
- 10 SCCM~30 SLM
- 1%
- 常规气体和腐蚀性气体
