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1,2 - 二氯六氟环丁烷（CAS：356-18-3）
参数
  • 含氟产品产品特性
  • 1,2 - 二氯六氟环丁烷产品名称
  • 356-18-3CAS
北京 大兴区 2天内发货 100千克
北京嘉世旺科技有限公司 8年
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高纯度1,2 - 二氯六氟环丁烷（356-18-3）,工业精密清洗剂及特种低温冷媒 / 溶剂 高纯度1,2 - 二氯六氟环丁烷（356-18-3）,工业精密清洗剂及特种低温冷媒 / 溶剂 面议
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产品详情

产品介绍：

1,2 - 二氯六氟环丁烷

CAS 号：356-18-3

分子式：C₄Cl₂F₆

分子量：232.94

用途：

  1. 半导体工业

    1. 用作等离子体蚀刻气体，用于硅、二氧化硅、氮化硅的干法刻蚀

    2. 高选择性、各向异性好，常用于高深宽比结构（如 TSV）

  2. 制冷与发泡

    1. 早期用作制冷剂（类似 CFC-114）

    2. 因ODP（臭氧消耗潜能值）>0，已被《蒙特利尔议定书》限制

  3. 特殊溶剂

    1. 电子清洗、精密仪器清洗

    2. 含氟聚合物溶剂、传热流体




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