ULVAC UTM1001FW/D1A分子泵维修二手爱发科分子泵
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以上所介绍的抽气模型是径向抽气,即从四周进气,压缩到轴心。用相同的动轮 和静轮相间组合,能形成多个抽气模型的并联抽气,这便是分子增压泵的吸气级,不难理解这样的组合能产生的抽气速率完全可以达到涡轮分子泵的水平,远远超过传统的拖动泵的抽速和流量。
在涡轮分子泵与前级泵之间装上一个真空阀,可以防止反向充气,当停电时立刻关上此阀。理想的情况是,它即能对前级泵入口充气又不致于使泵油返流浸入安全阀。另外,只有当它的压力基本均衡时才能打开安全阀,否则就有可能出现压力冲击前级管道的问题,例如,在断电瞬间前级泵压力将为大气压力,然而前级管道仍可能处于真空状态下。若阀门的两侧压力差很大,一旦通电阀门会立刻打开,含污染油的大气压下的气体将由前级泵冲向前级管道,从而会污染系统。所以安全阀需要一定的延迟开启的时间,以便让前级泵将阀门后的管道内抽成真空,阀前后的压差均衡时才可打开安全阀,总之采取办法来控制阀门的两侧的压力差,不使气流返冲。