Daihen RMN-20K3-V射频自动匹配器智能控制器模块卡件模块

¥1.25万 1 - 99个
¥1.23万 ≥100个

卡件模块产品特性
否是否进口
美国产地

发货地江西瑞昌市 30天内发货供货总量100个

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产品作用：
Daihen RMN-20K3-V 射频自动匹配器产品特点
开头：Daihen RMN-20K3-V 是半导体设备专用射频自动匹配器，适配 2kW 射频电源，稳定调节负载阻抗。
数字芯片控制，阻抗匹配响应速度快
适配 13.56MHz 标准射频频率，功率匹配精准
宽阻抗调节范围，适配刻蚀、薄膜各类负载
内置驻波保护，负载异常自动切断射频输出
水冷散热结构，长时间运行温升可控
多组通讯接口，可对接设备主控与上位系统
存储多套匹配参数，一键调取工艺配置
原装真空可调电容，损耗低、使用寿命长
整机电磁屏蔽，抵御车间电磁干扰
自带故障指示灯，异常点位快速判断
标准机柜安装尺寸，拆装更换便捷省力
镀金银射频接头，导电好、不易氧化
支持自动 / 手动双模式匹配，调试灵活
日系原厂元器件，7×24 小时产线稳定运行
优化 V3 版控制程序，减少匹配漂移问题结尾：Daihen RMN-20K3-V 射频自动匹配器作为射频系统核心配套部件，可大幅降低射频功率反射损耗，稳定维持等离子体工艺状态，有效减少设备报错停机，适配多款 TEL 半导体晶圆工艺设备，保障产线持续高效生产。

企业简介：

瑞昌明盛自动化设备有限公司是一家专业从事全球***（DCS系统）（机器人系统）（大型伺服控制系统）模块备件销售,公司产品内容为分布式控制系统(DCS) ,可编程序控制器(PLC)， MOTOROLA MVME工业用模组，工业控制通訊转换器(Anybus) ，远端输出/输入模块(RTU) ，工业电脑(IPC)、工业用低頻萤幕(IPC) ，人机界面SCSI(50,68,80Pin) AnyBus(Gateway)