Daihen 3D39-000004-V2射频自动匹配器智能控制器模块卡件模块

¥1.25万 1 - 99个
¥1.23万 ≥100个

卡件模块产品特性
否是否进口
美国产地

发货地江西瑞昌市 30天内发货供货总量100个

瑞昌明盛自动化设备有限公司 6年: 进入店铺在线咨询

Digital 02-362685-00数字动态控制器智能控制器模块卡件模块 ¥12300.00

Verity 3D80-000906-V6传感器智能控制器模块卡件模块 ¥12300.00

TEL E281-005021-11控制卡智能控制器模块卡件模块 ¥12300.00

DAIHEN SR-204333射频匹配器智能控制器模块卡件模块 ¥12300.00

KYOSAI HCC-002-A印刷电路板智能控制器模块卡件模块 ¥12300.00

NIKON 4S026-925处理器模块智能控制器模块卡件模块 ¥12300.00

产品作用：
Daihen 3D39-000004-V2 射频自动匹配器
开头：Daihen 3D39-000004-V2 是 TEL 半导体刻蚀镀膜机专用自动射频匹配单元，动态调节腔体等离子阻抗，保障射频功率稳定传输。
适配 60MHz 高频、5kW 射频电源，适配***制程工艺
极速自动调谐，等离子阻抗波动可快速完成匹配
大幅降低反射功率，有效保护射频主机不被灼伤
内部铜质射频通路，功率传输损耗低、导热性好
一体式水冷散热，高负载长时间运行不高温告警
数字通讯接口，可与机台主控实时交互工艺数据
实时监测驻波、功率、温度，异常即时反馈报警
过温、过流、高驻波多重安全防护，降低停机故障
精密可调电容电感模组，阻抗匹配控制精度高
工艺参数断电记忆，重启无需重新标定匹配曲线
金属密封防尘腔体，适配无尘洁净车间工况
标准化对接端子与射频接口，拆装替换简单快捷
强抗电磁干扰，多射频设备同机柜运行互不影响
规整模块化布局，节省机柜内部安装空间
原厂配套适配 TEL 系列机台，上机直接兼容使用结尾：Daihen 3D39-000004-V2 匹配响应迅速、工艺稳定性强，是半导体薄膜、刻蚀设备核心射频备件。

企业简介：

瑞昌明盛自动化设备有限公司是一家专业从事全球***（DCS系统）（机器人系统）（大型伺服控制系统）模块备件销售,公司产品内容为分布式控制系统(DCS) ,可编程序控制器(PLC)， MOTOROLA MVME工业用模组，工业控制通訊转换器(Anybus) ，远端输出/输入模块(RTU) ，工业电脑(IPC)、工业用低頻萤幕(IPC) ，人机界面SCSI(50,68,80Pin) AnyBus(Gateway)