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Edwards NRB4-46-945 干式真空泵 智能控制器模块 卡件模块
参数
  • 卡件模块产品特性
  • 否是否进口
  • 美国产地
江西 瑞昌市 30天内发货 100个
瑞昌明盛自动化设备有限公司 6年
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产品详情

产品实拍


产品特色

  • 产品作用：

Edwards NRB4‑46‑945 干式真空泵，属于 iL70N 系列半导体无油前级干泵，为机台提供洁净粗真空环境。

产品特点

1、完全无油干式结构，避免油蒸汽返流污染工艺腔体

2、泵体抗腐蚀，可适配半导体各类腐蚀性工艺尾气抽取

3、运行振动低，整机噪音小，适配洁净车间工况

4、内置故障自检，支持状态告警输出，方便设备运维

5、支持通讯接口对接机台主控，实现启停与状态监控

产品参数

1、三相工业交流电机驱动，适配半导体设备供电

2、大抽速前级干式泵，满足腔体粗抽需求

3、风冷散热，支持长时间连续不间断运行

4、配备标准工业信号接口，上传运行及报警信号

5、落地紧凑泵体，适配机台外围安装布局

应用领域

1、半导体刻蚀设备前级真空抽气

2、PVD 薄膜沉积设备真空系统

3、CVD 化学气相沉积设备废气抽取

4、真空负载锁腔体粗抽应用

5、半导体产线设备维修替换备件

Edwards NRB4‑46‑945 干式真空泵是半导体设备获取洁净前级真空的核心真空备件

企业介绍
企业简介：

 

瑞昌明盛自动化设备有限公司是一家专业 （DCS系统）（机器人系统）（大型伺服控制系统）模块 备件销售,公司产品内容为分布式控制系统(DCS) ,可编程序控制器(PLC)， MOTOROLA MVME工业用模组 ，工业控制通訊转换器(Anybus) ，远端输出/输入模块(RTU) ，工业电脑(IPC)、 工业用低頻萤幕(IPC) ，人机界面SCSI(50,68,80Pin) AnyBus(Gateway 

公司自成立以来始终坚持以纯电子商务模式运营，缩减中间环节，为消费者在***时间提供优质的产品及满意的服务，为您的生产以及采购工作提供‘安全 快捷 方便’ 


售后说明

  • 物流配送

  • 我们使用顺丰快递/德邦快递

  • 付款方式

  • 对公付款，全款到账发货

  • 退换货政策

  • 所有产品享受一年保修期

  • 票据制度

  • 可开具增值税发票


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