Shinko BX80-070280-11 晶圆搬运转移机器人智能控制器模块

¥1.25万 1 - 99个
¥1.23万 ≥100个

卡件模块产品特性
否是否进口
美国产地

发货地江西瑞昌市 30天内发货供货总量100个

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产品作用：
Shinko BX80-070280-11 是神钢半导体真空晶圆搬运机械手，适配 TEL 刻蚀设备
1. 多段伸缩臂设计，狭小腔体内部灵活取送片
2. 低颗粒运动结构，程度减少微粒污染
3. 真空吸持晶圆，实时负压监测防掉片
4. 内置碰撞检测，遇障碍物立即停机保护
5. 伺服运动曲线平滑，降低硅片划伤风险
1. 型号 BX80-070280-11，Shinko 晶圆转移机器人
2. 适配 TEL 干法刻蚀腔体内部传输
3. 真空环境作业
4. 配套机台总线通讯
5. 自带运行日志与故障记录
适用场景
1.TEL 刻蚀机腔体内晶圆转送
2. 真空环境下硅片搬运
3. 晶圆腔室间上下料传输
4. 东电半导体设备整机配套
5. 半导体设备备件替换维修
总的来说 Shinko BX80-070280-11 是真空腔体内传输机械手，TEL 刻蚀机维修核心备件

企业简介：

瑞昌明盛自动化设备有限公司是一家专业（DCS系统）（机器人系统）（大型伺服控制系统）模块备件销售,公司产品内容为分布式控制系统(DCS) ,可编程序控制器(PLC)， MOTOROLA MVME工业用模组，工业控制通訊转换器(Anybus) ，远端输出/输入模块(RTU) ，工业电脑(IPC)、工业用低頻萤幕(IPC) ，人机界面SCSI(50,68,80Pin) AnyBus(Gateway

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