高功率电源
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天津 滨海新区
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产品详情
多级脉冲电源TI-3013&TI-6013
该射频电源采用3U半机箱设计，整机功率密度高。支持连续波、脉冲、多级脉冲的工作模式。可自定义配置脉冲信号，响应速度快，信号质量高。支持高速、高精度的调频功能。
应用特征
该电源主要应用对象包括：刻蚀、ICP、 PECVD。
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产品参数
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