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纳米压印光刻（NIL）
EVG是纳米压印光刻（NIL）设备和集成工艺的市场供应商。 EVG从15年前的研究方法中率先并掌握了NIL，并实现了从2英寸化合物半导体晶圆到300 mm晶圆甚至大面积面板的各种尺寸基板的批量生产。 NIL是产生纳米尺度分辨率图案的最有前途且***成本效益的工艺，可用于生物MEMS，微流体，电子学以及最近各种衍射光学元件的各种商业应用。
UV-NIL /SmartNIL®系统
EV Group为基于紫外线的纳米压印光刻（UV-NIL）提供完整的产品线，包括不同的单步压印系统，大面积压印机以及用于母版制作的分步重复系统。
热压花系统
EVGroup的一系列高精度热压花系统基于该公司市场的晶圆键合技术。热压印是一种具有很高复制精度的经济且灵活的制造技术。
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产品参数
- 否
- EVG
- EVG510HE
- 用于硬模压印和纳米印刷
- 111
- 1111
- 热压印
- 1111
- 是
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- 其他
- 否
