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可对应低速高浓度的离子注入设备SOPHI-30

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参数

离子注入产品特性
是加工定制
ULVAC爱发科品牌

发货地北京朝阳区 90天内发货供货总量2台

北京亚科晨旭科技有限公司 1年: 进入店铺在线咨询

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产品详情

可对应低速高浓度的离子注入设备SOPHI-30

低加速、高浓度对应的离子注入设备。

产品特性 / Product characteristics

• 枚叶式

• 可对应薄片

• 非质量分离机的对比优点

1)对应低加速.高浓度的好产能离子注入设备

2)相比过去约一半的低价

3)相比过往设备占用面积为1/3的紧凑型设计

产品应用 / Product application

• Power Device等薄片基板工艺、IGBT工艺

产品参数 / Product parameters

• 基板尺寸：Max200mm

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产品参数

产品特性离子注入
加工定制是
品牌ULVAC爱发科
型号可对应低速高浓度的离子注入设备SOPHI-30
用途可对应低速高浓度的离子注入设备SOPHI-30
订货号可对应低速高浓度的离子注入设备SOPHI-30
货号可对应低速高浓度的离子注入设备SOPHI-30
别名可对应低速高浓度的离子注入设备SOPHI-30
规格可对应低速高浓度的离子注入设备SOPHI-30
是否跨境货源否

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