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centrotherm SiC和GaN退火及石墨烯生长 Activator150

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参数

SiC退火产品特性
是加工定制
centrotherm 德国品牌

发货地北京朝阳区 90天内发货供货总量2台

北京亚科晨旭科技有限公司 1年: 进入店铺在线咨询

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产品详情

centrotherm SiC和GaN退火及石墨烯生长 Activator150

centrotherm Activator 150 高温炉生产线专为硅-碳化合物（SiC）或镓-氮化合物（GaN）设备的后植入烧结而设计开发。Activator 150 可用于多种类型炉体，如研发炉和批量生产炉，且处理灵活性高。centrotherm 的无金属加热装置的独特设计允许处理温度高达 1850 °C 同时缩短了工艺循环时间。由于占据空间小、购置成本低，所以 Activator 150 可实现生产具有成本效益。

特点：

高活化率

表面粗糙程度最小

温度达 1850°C

批量规模高达 50硅片（150mm）

加热率达 150 K/min

通过SiH4可实现硅“过压

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产品参数

产品特性SiC退火
加工定制是
品牌centrotherm 德国
型号centrotherm SiC和GaN退火及石墨烯生长 Activator150
用途centrotherm SiC和GaN退火及石墨烯生长 Activator150
订货号centrotherm SiC和GaN退火及石墨烯生长 Activator150
货号centrotherm SiC和GaN退火及石墨烯生长 Activator150
别名centrotherm SiC和GaN退火及石墨烯生长 Activator150
规格centrotherm SiC和GaN退火及石墨烯生长 Activator150
是否跨境货源否

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