钨灯丝扫描电镜 VEGA
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ULVAC 离子注入设备
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产品详情
MIRA3 LM是一款完全由计算机控制的场发射扫描电子显微镜，可在高真空和低真空模式下操作，其具有突出的光学性能，清晰的数字化图像，成熟、用户界面友好的操作软件等特点。基于Windows™平台的操作软件提供了简易的电镜操作和图像采集，可以保存标准文件格式的图片，可以对图像进行管理、处理和测量，实现了电镜的自动设置和许多其它自动操作。
· 概述
分析潜力
· LM样品室配备有5轴马达驱动全计算机化优中心样品台，***的几何设计更适合安装能谱仪（EDS）、波谱仪（WDX）、电子背散射衍射（EBSD）
· 优化几何设计的许多接口，更适合安装能谱仪（EDS）、波谱仪（WDX）、电子背散射衍射（EBSD）和其他探头
· ***YAG闪烁器式探头
· 可选各种探头和配件
· 在涡轮分子泵和无油干式泵的工作下，几分钟就可以达到仪器工作需要的真空，电子枪的真空度由离子泵抽真空保持
· 在低真空模式下可以观测不导电的样品，观测磁性样品的效果非常好
· 可选样品室大小与镜筒防振方式
MIRA3配置
MIRA3 LMH
大样品室高真空式电镜，配备有可延长的马达驱动样品台，适合观测导电的样品。
MIRA3 LMU
可变真空式SEM，体现了高真空模式和低真空模式的优点。在低真空模式下可以观测不导电的样品，不需要喷金。
· 软件
标配：
· 测量
· 图象处理
· 3维扫描
· 硬度测量
· 多图像校准
· 对象区域
· 自动关机时间
· 公差
· 编程软件
· 定位
· 投影面积
· EasySEMTM
选配：
根据实际配置和需求
· 技术规格
· 配件
· 二次电子探头（SE），ET型二次电子探头（YAG 闪烁体）
· 可移动式背散射电子探头（RBSE）*，可移动环行闪烁体类（YAG）具有高灵敏度和原子序数分辨率（0.1Z）
· 低真空二次电子探头
· 探针电流测量
· 压差式防碰撞报警装置
· 可观察样品室内部的红外线摄像头
· 等，各种配件可供选择
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产品参数
- SEM
- 否
- 捷克
- 是
- TESCAN
- TESCAN-场发射扫描电镜 MIRA
- TESCAN-场发射扫描电镜 MIRA
- TESCAN-场发射扫描电镜 MIRA
- TESCAN-场发射扫描电镜 MIRA
- TESCAN-场发射扫描电镜 MIRA
- 1nm
- 220V
- 扫描电镜
- 否
