ANT95V-3单轴升降直接驱动纳米定位平台，行程3 mm
¥2279.00
ANT130V-5单轴升降式直接驱动纳米定位平台，行程5mm
¥3359.00
AVL1000机械轴承直驱升降台
¥3128.00
AVS1000机械轴承滚珠丝杠升降台
¥4738.00
WaferMaxZ机械轴承直驱升降平台
¥3225.00
AirLift115空气轴承升降台
¥4427.00
AVS100 / AVSI100系列机械轴承螺旋升降平台
设计特点
长寿命直线导轨轴承系统
亚微米闭环定位
低成本，高性能的舞台
6、13和25毫米行程型号
精密研磨滚珠丝杠
一体式或可移动式电机
Aerotech的AVS100 / AVSI100系列位移台为要求在水平面以上的仰角中有很小的增量移动的应用提供了解决方案。低轮廓和***的运动能力使这些平台非常适合用于半导体晶圆检查和测试，光纤组装和检查，自动工具对准，机器视觉检查系统以及激光加工应用。
AVSI100系列位移台提供与AVS100位移台相同的性能，但占地面积更小。AVSI100将电机直接与驱动螺钉集成在一起，而无需电机耦合。这使得舞台的长度大大缩短。
优质的设计提供***的性能
AVS100 / AVSI100系列可在垂直平面上***地提升负载。精密研磨的滚珠丝杠的旋转运动转换为AVS100 / AVSI100系列桌面的垂直高度。
带有集成刮水器的密封线性运动导向轴承，可提供***负载能力，长寿命以及平稳，***的运动。确保稳定且平行的垂直运动，平台无晃动或水平偏差。
精心的机械设计使AVS100 / AVSI100系列达到亚微米分辨率，并仍保持紧凑的外形。可选的HALAR工厂校准选项可用于进一步提高标准精度和可重复性。
更好的垂直运动方法
垂直举升方法是传统Z平面定向平台的替代方案。AVS100 / AVSI100系列位移台不仅外形小巧，而且还可以从任何侧面轻松访问负载。通过将有效载荷置于轴承的中心，不会产生悬臂效应。AVS100 / AVSI100系列位移台为传统XYZ系统提供了节省空间的替代选择，同样适用于实验室和工业应用。可选的舞台光洁度可用于各种环境，包括真空制备。
其他标准功能
所有AVS100 / AVSI100系列位移台均标配有整体限位开关和机械硬限位器。阶段桌面是用特氟隆处理® -impregnated硬涂层（洛氏硬度62），其是耐刮擦，并提供在最恶劣的环境***保护。舞台本身具有黑色阳极氧化处理。
订购信息
AVS100机械轴承螺旋升降平台
旅行（必填）
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| -06 | 6毫米行程 |
| -13 | 13毫米行程 |
| -25 | 25毫米行程 |
马达（可选）
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| -M1 | 具有2500线TTL编码器的BMS60伺服电机 |
| -M2 | 具有2500线TTL编码器和抱闸的BMS60伺服电机 |
| -M3 | 具有1000线1 Vpp编码器的BMS60伺服电机 |
| -M4 | 具有1000线1 Vpp编码器和抱闸的BMS60伺服电机 |
| -M5 | 带2500线TTL编码器的BM75伺服电机 |
| -M6 | 带2500线TTL编码器和抱闸的BM75伺服电机 |
| -M7 | 带有75线1 Vpp编码器的BM75伺服电机 |
| -M8 | 带1000线1 Vpp编码器和抱闸的BM75伺服电机 |
| -M9 | SM60高压步进电动机 |
折返（可选）
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| -FB1 | 用于.250英寸直径轴的电机折返套件 |
| -FB2 | 马达折返套件，带制动器，用于.250英寸直径的轴 |
电机方向（可选）
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| -2 | 底部电缆出口 |
| -3 | 左侧电缆出口（标准） |
| -4 | 顶部电缆出口 |
| -5 | 右侧电缆出口 |
| -8 | 右侧折返 |
| -12 | 左侧折返 |
在线问
