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德国PI纳米定位平台P-561采用电容式传感器
自1970年成立以来，PI（Physik Instrumente）已成为精密定位技术领域的优质制造商。PI开发和生产用于线性、旋转和垂直运动或不同轴组合的各种定位平台和致动器。从精密机械和电子技术到位置传感器技术，以及子公司 PI Ceramic 开发的压电陶瓷和致动器。我们开发的技术包括从基本解决方案到特定应用版本。
主要产品：
PI纳米定位压电挠性平台
PI微型位移台
PI线性位移台
PI线性致动器
PI旋转位移台
PI六足位移台
P-733.3 XYZ 压电纳米定位仪 带孔径的高精度 XYZ 扫描仪
X 和 Y 移动范围达 100 µm × 100 µm，Z 移动范围达 10 µm
采用电容式传感器，分辨率达 0.1 纳米
直接驱动的高速版本
可根据要求提供超高真空兼容型和非磁性型
平行运动学，实现更高的精度和动态性能
并行计量，主动补偿导向误差
零间隙、高精度挠性导轨系统
50 mm × 50 mm 透明孔径，适用于透射光应用
P-561 - P-562 - P-563 PIMars 纳米定位平台 多达 3 轴的高精度纳米定位器
X 轴和 Y 轴平行运动学设计，响应时间更快，多轴精度更高
行程范围达 300 × 300 × 300 µm
采用电容式传感器，线性度高
零间隙和高精度挠性导轨
***扫描平面度
高动态 XYZ 版本
66 mm × 66 mm 净空
采用 PICMA® 压电执行器，使用寿命长
超高压版本可达 10-9 hPa
型号示例：
PI纳米定位平台P-616
PI纳米定位平台P-611.3
PI纳米定位平台P-733.3
PI纳米定位平台P-561
PI纳米定位平台P-562
PI纳米定位平台P-563
PI纳米定位平台P-517
PI纳米定位平台P-527
PI纳米定位平台P-518
PI纳米定位平台P-528
德国PI纳米定位平台P-561采用电容式传感器
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