CINDBEST CL-6 | 6" 精密I-V测试测量探针台系统
特点 / 应用
l 满足I-V/C-V,PIV测试,光电测试等. l 可用于6英寸以内样品测试 l 同轴丝杠传动结构,线性移动 l U型平台快速升降功能 l 兼容高倍率金相显微镜,可微调移动 l 可升级做射频,大电流方面的测试和激光修复应用 |
规 格
l 台体:
尺寸 | 6英寸 |
水平旋转 | 可360度旋转,可微调15度,精度0.1度,带角度锁死装置 |
X-Y移动行程 | 6英寸*6英寸 |
X-Y移动精度 | 1微米 |
样品台Z轴调节 | 可升降10mm |
样品固定 | 真空吸附,中心吸附孔,多圈吸附环 |
针座平台 | U型针座平台,最多可放置6个探针座,U型平台可快速升降 |
背电极测试 | 样品台电学独立悬空,4mm插孔可接背电极 |
外形尺寸 | 580mm长*480mm宽*600mm高 |
重量 | 约60千克 |
l 光学系统:
显微镜类型 | 单筒显微镜/体式显微镜/金相显微镜 |
放大倍率 | 16X-200X/20X-4000X |
显微镜移动行程 | X-Y轴行程2英寸*2英寸,Z轴行程50.8mm |
光源 | 外置LED环形光源/同轴光源 |
CCD | 200万像素/500万像素/1200万像素/1400万像素 |
l 定位器:
X-Y-Z移动行程 | 12mm*12mm*12mm |
移动精度 | 10微米/2微米/0.7微米/0.5微米 |
吸附方式 | 磁力吸附/真空吸附 |
线缆 | 同轴线/三轴线 |
漏电精度 | 10pA/100fA/10fA |
固定探针 | 弹簧固定/管状固定 |
接头类型 | BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子 |
针尖直径 | 0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米 |
针尖材质 | 钨钢/铍铜 |
l 可选附件
加热台 |
显示器 |
转接头 |
射频测试配件 |
屏蔽箱 |
光学平台 |
镀金卡盘 |
光电测试配件 |
高压测试配件 |
显微镜快速倾仰装置 |
激光系统 |
探针卡夹具 |
PS:探针台可根据客户要求定制。
规格及设计如有更改,恕不另行通知。
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