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涡轮分子泵
UTMーFH 系列
UTM-800FH
ULVAC
采用五轴磁浮轴承和数字控制的复合翼型涡轮分子泵。
UTM-FH、UTM-FW采用数字控制五轴磁浮轴承,实现了、高可靠性和节能等优点。FH系列是高背压·高压缩型,提高了氢压缩比,用于轻·中间工艺,FW系列是广域·大流量型,用于高负荷工艺和中间·硬工艺。
特点
配备监控・自我诊断功能、通信功能,可与集中管理系统数字化通信。
配备有无耦合系统。 仅通过一个电源就可以与任何替换泵组合使用。
配备变速系统。 排气速度可以在25%至100%的范围内切换。
具有的表面处理性,可支持选择特殊表面处理和内部升温系统,以进行进一步的硬化处理(FW系列)
采用断裂能量吸收结构,高安全性设计,减少故障时的设备损坏。
符合CE标志
用途
中,重工艺用主泵(FW系列)
轻,中工艺用主泵(FH系列)
各种实验装置的高,真空排气用主泵