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清芯卓光阻Cup清洗机

参数
  • 清芯卓品牌
  • 晶圆清洗适用行业
江苏 苏州 60天内发货 999999台
苏州清芯卓半导体设备有限公司
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产品详情

晶片规格:

2-8〞单、双cassette

主要材料:

金属骨架+SUS304壳体,槽体材质SUS316

工艺槽功能:

循环过滤+加热

基础工艺流程:

药液槽→丙酮→IPA→QDR

设备类型:

手动/半自动/全自动(定制)

Footprint : 1800 (W) x 1300 (D) x 2000(H) mm(非标)


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