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主要材料:
金属骨架+PP/PVC壳体，槽体材质PP/PVDF/PTFE
/石英
设备功能：
旋转+鼓泡+循环+温控
基础工艺流程:
预清洗→制绒→扩散→刻蚀→去PSG→PECVD→印刷→烧结（可增减）
设备类型：
手动/半自动/全自动（定制）
Footprint : 11000 (W) x 2300 (D) x 2200(H) mm
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