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Micro Resist光刻胶

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湖北 武汉 不限
武汉迈可诺科技有限公司 1年
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产品详情

IPNR-T1000 Thermoplastic nanoimprint resist 热塑型纳米压印胶 
分辨率低于10nm 
低压力压印(<20 bar) 
低温压力(<100 ℃) 

IPNR-T2000 Thermal curable nanoimprint resist 热固化型纳米压印胶 
分辨率低于10nm 
低压力压印(<1 bar)以及低固化温度(<100 ℃) 
 热固化时间短(<60 s) 
高氧等离子体刻蚀电阻 
均一的膜厚度 

IPNR-PC1000 Photo-curable nanoimprint resist (Free radical initiation) 光固化型纳米压印(自由基引发) 
丙烯酸酯官能化聚硅氧烷抗蚀剂 
真空或者氮气气氛下操作 
低于10nm的分辨率 
低压力压印以及超快固化时间(<10 s) 
低紫外照射量 
高氧等离子体刻蚀电阻 
均一的膜厚度 

IPNR-PC2000 Photo-curable nanoimprint resist (cation intiation) 光固化纳米压印蚀剂(阳离子引发) 
乙烯基醚官能化聚硅氧烷抗蚀剂 
空气气氛下操作 
分辨率低于10nm 
低压力压印(<1 bar)以及超快固化时间(<1 bar) 
低紫外照射量 
高氧等离子体刻蚀电阻 
均一的膜厚度 

IPNR-UL1000 Under-layer polymer 举离型传递层材料 
热塑聚合物发送过程 
强粘附抗蚀剂层以及材料 

IPNR-UL2000 Under-layer polymer 刻蚀型传递层材料 
热固性聚合物刻蚀面罩过程 
强粘附抗蚀剂层以及材料 

IPNR-UPM Quick mold fabrication material 快速模板制作材料 
快速而简单的塑造材料 
高分辨率以及低成本 
极好的化学性以耐温性 
塑造优良的附着力基板 
可靠的脱模性 

IPNR-AP Chlorosilane based adhesion promoter 氯硅烷增粘剂 
促进和基材之间的附着力 
气相或者液相处理



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