特点:
稳定的双位移调节系统
■ 样品座可以放置8英寸的晶圆样品,通过移动样品座下面的滑台,可以实现X-Y轴±50mm的移动行程,并且样品座
本身可以进行三维上的精细调节,使得样品测试和换样更加便捷。
■ 探针臂采用磁力吸附,可任意摆放,并且探针臂本身可以进行三维方向微调,操作方便便捷,扎针准确,四个探针臂
的探针可以扎到样品的任意位置极小的漏电性
■ 探针臂采用三同轴线缆和三同轴接头,漏电性小,漏电流在100fA以内,探针臂内置线缆,避免杂乱的走线
■ 探针采用针套固定,只有针尖裸露在外,减小漏电