SECS/GEM通讯无尘烘箱,无尘烤箱概述
SECS/GEM通讯无尘烘箱,无尘烤箱用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显***的高温烘烤;也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门;也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。
SECS/GEM通讯无尘烘箱,无尘烤箱特点
Ø 在普通环境下使用,能够确保烘箱内部等级达到Class 100;
Ø 全周氩焊,耐高温硅胶破紧,SUS304#不锈钢电热生产器,防机台本身所产生微尘;
Ø 采用单面水平由后向前送风热风循环系统,风源由循环马达运转带动风轮经电热器,将热风由风道送至烤箱内部,且将使用后空气吸入风道成为风源再度循环加热,省电节能温度均匀性好,过滤效率99.***,Class 100;
Ø 强制送风循环方式,双风道循环结构,温度场分布均匀,智能P.I.D温控系统,得到温度控制精度。
SECS/GEM通讯无尘烘箱,无尘烤箱技术参数
SECS/GEM通讯无尘烘箱,无尘烤箱主要技术指标
Ø 无尘等级:Class 100;
Ø 温度均匀度:±2℃;
Ø 温度波动度:±0.5℃(空载);
Ø 温控精度:±0.1℃;
Ø 进风口:φ6mmN2进气、流量计控制;
Ø 排风口: φ3”排风管(外接φ5"法兰);
十级洁净烤箱,无尘烤箱
一.十级洁净烤箱,无尘烤箱概述
十级洁净烤箱也称作无尘烘箱用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显***的高温烘烤、工装夹具烘烤;也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门;也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。
二.十级洁净烤箱,无尘烤箱特点
Ø 在特定环境下使用,能够确保烘箱内部等级达到Class 10;
Ø 全周氩焊,耐高温硅胶破紧,SUS304#不锈钢电热生产器,防机台本身所产生微尘;
Ø 采用单面水平由后向前送风热风循环系统,风源由循环马达运转带动风轮经电热器,将热风由风道送至烤箱内部,且将使用后空气吸入风道成为风源再度循环加热,省电节能温度均匀性好,过滤效率99.***,Class 10;
Ø 强制送风循环方式,双风道循环结构,温度场分布均匀,智能P.I.D温控系统,得到温度控制精度。
三.十级洁净烤箱,无尘烤箱技术参数
1.主要技术指标
Ø 无尘等级:Class 10;
Ø 温度范围:RT+10~200、300℃;
Ø 温度均匀度:±1.5%℃;
Ø 温度波动度:±0.5℃(空载);
Ø 温控精度:±0.1℃;
Ø 进风口:压缩气体过滤,可把气体过滤到CLASS 10,φ6mmN2进气;
Ø 排风口: φ3”排风管;
Ø 电源:380v , 50Hz;
Ø保护装置:超温保护,漏电断路器、控制线路保险丝装置、 超温防止保护装置、 电热过电流保护装置、马达过电流
保护、 反向保护装置、内衬防火材料、机台异常蜂鸣器警示、门面安全开关。
Ø 网板:2-5层,不锈钢加工圆孔托盘,载重量可承重30kg;
Ø 洁净度:10级的洁净热处理HEPA高效过滤器与前出***平层对流循环方式实现并***箱内的温度分布的均匀性与10级洁净度。