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SECS/GEM通讯无尘烘箱,无尘烤箱

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SECS/GEM通讯无尘烘箱,无尘烤箱概述

SECS/GEM通讯无尘烘箱,无尘烤箱用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显***的高温烘烤;也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门;也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。

SECS/GEM通讯无尘烘箱,无尘烤箱特点

Ø  在普通环境下使用,能够确保烘箱内部等级达到Class 100;

Ø  全周氩焊,耐高温硅胶破紧,SUS304#不锈钢电热生产器,防机台本身所产生微尘;

Ø  采用单面水平由后向前送风热风循环系统,风源由循环马达运转带动风轮经电热器,将热风由风道送至烤箱内部,且将使用后空气吸入风道成为风源再度循环加热,省电节能温度均匀性好,过滤效率99.***,Class 100;

Ø  强制送风循环方式,双风道循环结构,温度场分布均匀,智能P.I.D温控系统,得到温度控制精度。

SECS/GEM通讯无尘烘箱,无尘烤箱技术参数

SECS/GEM通讯无尘烘箱,无尘烤箱主要技术指标

Ø  无尘等级:Class 100;     

Ø  温度均匀度:±2℃;    

Ø  温度波动度:±0.5℃(空载);        

Ø  温控精度:±0.1℃;

Ø  进风口:φ6mmN2进气、流量计控制;

Ø  排风口: φ3”排风管(外接φ5"法兰);     


十级洁净烤箱,无尘烤箱

一.十级洁净烤箱,无尘烤箱概述

   十级洁净烤箱也称作无尘烘箱用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显***的高温烘烤、工装夹具烘烤;也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门;也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。

二.十级洁净烤箱,无尘烤箱特点

Ø 在特定环境下使用,能够确保烘箱内部等级达到Class 10;

Ø 全周氩焊,耐高温硅胶破紧,SUS304#不锈钢电热生产器,防机台本身所产生微尘;

Ø 采用单面水平由后向前送风热风循环系统,风源由循环马达运转带动风轮经电热器,将热风由风道送至烤箱内部,且将使用后空气吸入风道成为风源再度循环加热,省电节能温度均匀性好,过滤效率99.***,Class 10;

Ø 强制送风循环方式,双风道循环结构,温度场分布均匀,智能P.I.D温控系统,得到温度控制精度。

三.十级洁净烤箱,无尘烤箱技术参数

1.主要技术指标

Ø 无尘等级:Class 10;     

Ø 温度范围:RT+10~200、300℃;

Ø 温度均匀度:±1.5%℃;    

Ø 温度波动度:±0.5℃(空载);        

Ø 温控精度:±0.1℃;

Ø 进风口:压缩气体过滤,可把气体过滤到CLASS 10,φ6mmN2进气;

Ø 排风口: φ3”排风管;     

Ø 电源:380v , 50Hz;

Ø保护装置:超温保护,漏电断路器、控制线路保险丝装置、 超温防止保护装置、 电热过电流保护装置、马达过电流
    保护、 反向保护装置、内衬防火材料、机台异常蜂鸣器警示、门面安全开关。
   

Ø 网板:2-5层,不锈钢加工圆孔托载重量可承重30kg;

Ø 洁净度:10级的洁净热处理HEPA高效过滤器与前出***平层对流循环方式实现并***箱内的温度分布的均匀性与10级洁净度。


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