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产品描述
Zeta-20台式光学轮廓仪是一款非接触式3D显微镜及表面形貌测量系统。该 3D 光学量测系统由已获得***的 ZDot 技术及多模式光学组件提供支持，可支持各种样品测量：透明和不透明、低反射率和高反射率、光滑表面和粗糙纹理，以及从纳米到厘米范围的台阶高度。
Zeta-20台式光学轮廓仪集六种不同的光学量测技术于一身，是一款可灵活配置且易于使用的系统。ZDot测量模式同时收集高分辨率的3D扫描信息和样品表面真彩色图像。其他3D测量技术包括白光干涉测量法、诺马斯基光干涉对比显微法和剪切干涉测量法，膜厚测量包含使用ZDot模式测量和光谱反射的测量方法。Zeta-20 也是一款高端显微镜，可用于抽样检查或缺陷的自动检测。Zeta-20通过提供全面的台阶高度、粗糙度及薄膜厚度测量以及缺陷检测功能来支持研发 (R&D) 和生产环境。
Zeta-20台式光学轮廓仪特征优势
配合ZDot及多模式光学组件，光学轮廓仪可以容易地实现各种各样的应用
用于抽样检查和缺陷检测的高质量显微镜
ZDot: 同时收集高分辨率的3D扫描扫描信息和样品表面真彩色图像
ZXI：采用z方向高分辨率的广域测量白光干涉仪 ZIC：亚纳米级粗糙度表面的定量3D数据的干涉对比
ZIC：图像对比度增强，可实现亚纳米级粗糙度表面的定量分析
ZSI：z方向高分辨率
图像的剪切干涉测量法
ZFT：通过集成式宽频反射测量法测量薄膜厚度和反射率
AOI：自动光学检测，可量化样品缺陷
生产能力：具有多点量测和图形识别功能的全自动测量
Zeta-20台式光学轮廓仪应用功能
台阶高度：从纳米级到毫米级的3D 台阶高度
表面：光滑表面到粗糙表面上的粗糙度和波纹度测试
翘曲：2D或3D翘曲
应力：2D 或3D 薄膜应力
薄膜厚度：透明薄膜厚度由 30nm 至 100µm 不等
缺陷检测：捕获大于 1µm 的缺陷
缺陷表征：KLARF文件可用于寻找缺陷，以确定划痕缺陷位置，测量缺陷3D表面形貌
Zeta-20台式光学轮廓仪应用领域
太阳能：光伏太阳能电池
半导体和化合物半导体
半导体WLCSP（晶圆级芯片封装）
半导体FOWLP（扇出晶圆级封装）
PCB（印刷电路板）和柔性印刷电路板
MEMS：微机电系统
医疗器械和微流体器件
数据存储
大学、研究实验室和研究所
Zeta-20台式光学轮廓仪应用案例
肖特玻璃-表面粗糙度
可用来测试玻璃等透明表面及不透明表面的形貌和表面粗糙度
太阳能电池–不同反射率表面形貌测量
轻松获得复杂差异化反射率样品的表面形貌
MEMS器件–台阶高度和粗糙度
小尺寸样品nm级台阶精度，大尺寸样品的亚微米台阶精度
镜头-完整的表面轮廓
图像拼接功能，可获得大面积样品的完整表面轮廓
高分子薄膜-膜厚测量
可用于PI和PR薄膜的厚度测量，并可生成整片晶圆上的膜厚mapping
蓝宝石-图案化晶片表面缺陷
可对特定缺陷进行三维轮廓扫描并进行相关测量，并对晶圆表面缺陷按尺寸、亮度、长宽比等进行分布统计并生成mapping
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