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ULVAC 日本 爱发科 水晶振荡式成膜控制器 多传感器 CRTS-M6

参数
  • ULVAC品牌
  • 规格
  • CRTS-M6型号
北京 朝阳区 不限 1个
北崎国际贸易(北京)有限公司 2年
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产品详情

CRTS-M6是为水晶振荡式成膜控制器CRTM系列开发的回转式多传感器。
可以搭载5MHz或者6MHz的水晶振荡片6枚,连续蒸发也可放心使用。



特点

  • 可搭载6枚5MHz或6MHz的水晶振动子

  • 使用了真空电机的独特驱动方式实现了高可靠性

  • 水晶震动子的更换非常方便

  • 当检测到水晶振动子振荡异常时,可以自动进行水晶振动子切换(当CRTM系列用作控制器时)

  • 由于传感器头很小(直径50mm),可以灵活地连接到成膜系统。





用途

  • 光学、光通信部品的蒸发

  • 有机物的蒸发

  • 电子部品,其他蒸发





规格

Sensor head
Equipped crystal number6 pieces
Capacity of crystal4MHz, 5MHz or 6MHz(Selectable) AT cut crystal
Heat resistance temperature350℃
Cooling water volume1L / min
Weight1kg
DimensionΦ50mm x H 約89mm


Controller
Digital inputINIT, CNT, STOP
Digital outputSensor No., BUSY, ERROR, RETRY, END
UtilityDC24V, 3.0A
Dimension W×D×H100mm x 252mm x 99mm















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