CRTS-M6是为水晶振荡式成膜控制器CRTM系列开发的回转式多传感器。 特点 可搭载6枚5MHz或6MHz的水晶振动子 使用了真空电机的独特驱动方式实现了高可靠性 水晶震动子的更换非常方便 当检测到水晶振动子振荡异常时,可以自动进行水晶振动子切换(当CRTM系列用作控制器时) 由于传感器头很小(直径50mm),可以灵活地连接到成膜系统。 用途 光学、光通信部品的蒸发 有机物的蒸发 电子部品,其他蒸发 规格
可以搭载5MHz或者6MHz的水晶振荡片6枚,连续蒸发也可放心使用。Sensor head Equipped crystal number 6 pieces Capacity of crystal 4MHz, 5MHz or 6MHz(Selectable) AT cut crystal Heat resistance temperature 350℃ Cooling water volume 1L / min Weight 1kg Dimension Φ50mm x H 約89mm Controller Digital input INIT, CNT, STOP Digital output Sensor No., BUSY, ERROR, RETRY, END Utility DC24V, 3.0A Dimension W×D×H 100mm x 252mm x 99mm