钨灯丝扫描电镜 VEGA
VEGA3 LM是一款由计算机控制,可在高真空和低真空模式下工作全自动化钨灯丝扫描电子显微镜,具有突出的光学性能,清晰的数字化图像,成熟的操作软件,用户界面友好等特征。基于Windows™平台的操作软件提供了简易的电镜操作方式和完整的图像采集功能,可以保存标准文件格式的图片,可以对图像进行管理、处理和测量,实现了电镜的自动设置和许多其它自动操作。
· 概述
分析潜力:
· LM大样品室、5轴马达驱动样品台
· 样品室有11个接口,适用于安装EDX、EBSD、EBIC等探头
· ***YAG 闪烁体探头
· 选配包括了各种探头于可选的配件
· 涡轮分子泵和机械泵同时工作,几分钟可达到仪器操作需要的真空状态
· 在可变真空模式下可观测不导电的样品(LMU型号)
· 可选的样品室减振方式
· 3维Metrology软件提供了三围重构与3维测量功能
VEGA3配置
VEGA3 LMH
高真空式SEM,配备有5轴马达驱动样品台,适用于观测小型导电样品。
VEGA3 LMU
可变真空式SEM,体现了高真空模式和低真空模式的优点。在低真空模式下可以观测非导电样品,不需要喷金
标配:
· 测量
· 图象处理
· 3维扫描
· 硬度测量
· 多图像校准
· 对象区域
· 自动关机时间
· 公差
· 编程软件
· 定位
· 投影面积
· EasySEMTM
选配:
根据实际配置和需求
标配:
· 二次电子探头(SE),ET型二次电子探头(YAG 闪烁体)
· 可移动式背散射电子探头(RBSE)*,可移动环行闪烁体类(YAG)具有高灵敏度和原子序数分辨率(0.1Z)
· 探针电流测量
· 压差式防碰撞报警装置
· 可观察样品室内部的红外线摄像头
· 冷台
· 等,各种附件可供选择
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