EVG500系列键合机:EVG510 EVG610单面/双面光刻机 EVG SOI材料键合 810LT 单晶圆低温等离子活化系统 原子力显微镜高精度美国Bruker Dimension 系列 35pm RMS 8寸晶圆 EVG晶圆键合机 501/510/520/540系列 8寸晶圆 台阶仪业 Bruker台阶仪DektakXT-6寸晶圆
EVG 单面/双面光刻对准机 610/620/6200系列 0.5um以上线条尺寸 美国Bruker GT-K/GT-X 系列 三维光学轮廓仪 分辨率0.1nm centrotherm SiC和GaN退火及石墨烯生长 Activator150 Centrotherm 高温退火/氧化系统-Activator/Oxidator 150 TRYMAX 等离子除胶机 NEO系列 Bruker原子力显微镜-- Dimension Icon
EVG®810LT LowTemp™等离子激活系统 EVG®850LT SOI和直接晶圆键合的自动化生产键合系统/SOI的自动化生产粘合系统 EVG®501/510 手动/半自动晶圆键合系统 EVG®6200NT SmartNIL UV纳米压印光刻系统 Sonoscan 超声波扫描显微镜Gen7 C-SAM检测系统 CAMTEK 自动光学检验AOI Eagle-I