德国Physik压电P-541.2系列大口径升降/倾斜工作台
¥3000.00
德国PI器纳米计量传感和传感器评估电子PI E-852 PISeca系列
¥1000.00
德国SFK圆柱和滚针推力轴承的轴承垫圈AS 0414系列
¥100.00
TOOL–TEMP温度控制单元TT-108 E加热能力为3-144 kW
¥10000.00
Physik 压电纳米定位表
Physik 多轴压电
Physik PI多轴压敏仪允许在多达6个轴上以亚纳米级精度进行定位和扫描，包括所有倾斜和旋转方向。从特别紧凑的压电立方体到具有大孔径和低剖面的设计，有许多变体可供选择。
P-733.3 XYZ 压电纳米定位器
带孔径的高精度XYZ扫描仪
行程可达 120 μm × 120 μm × 120 μm
超紧凑：44 mm × 44 mm × 44 mm
分辨***达 0.2 nm
快速响应
无间隙和高精度固态导轨
通过PICMA压电陶瓷促动器实现超长的使用寿命
用于快速扫描
带集成光纤支架的版本
特别具有成本效益的系统
应用
光子学/集成光学
显微操作
生物工艺学
半导体测试
光纤定位
通过无间隙固态接头导向装置实现高导向精度
固态接头导轨无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑剂。它们的刚性使其具有很高的弹性，对冲击载荷和振动不敏感。它们具有 *** 真空能力，可在很宽的温度范围内运行。
PICMA 压电陶瓷促动器具有***使用寿命®
获得***的PICMA®压电陶瓷促动器是全陶瓷绝缘的。这可以保护它们免受由于泄漏电流增加而导致的潮湿和故障的影响。PICMA®促动器的使用寿命是传统聚合物绝缘致动器的十倍。经过 100 亿次循环验证，无一次故障。
P-733.3CD
P-733.3CL
P-733.3DD
P-561 • P-562 • P-563 PIMars 纳米定位台
高精度纳米定位器，最多 3 个轴
X、Y 轴的行程可达 100 μm × 100 μm，Z 轴轴的行程可达 10 μm
电容式传感器分辨***达 0.1 nm
高速、直接驱动版本
可根据要求提供超高真空和非磁性版本
通过并联运动学提高精度和动态性
用于主动补偿***误差的并行计量
无间隙和高精度固态导轨
自由光圈 50 mm × 50 mm，适用于透射光应用
应用
扫描显微镜
共聚焦显微镜
掩模/晶圆定位
表面计量
纳米压印
显微操作
图像处理/防抖
具有高平整度和运动直线度的纳米定位
带电容式传感器的亚纳米分辨率
电容式传感器以亚纳米分辨率进行非接触式测量。它们***了***机芯线性度、高长期稳定性和 kHz 范围内的带宽。
自动配置和快速组件更换
机械装置和控制器可以根据需要组合并快速更换。所有伺服和线性化参数都存储在机械师D-Sub连接器的ID芯片中。每次控制器打开时，数字控制器的自动校准功能都会自动使用此数据。
PICMA 压电陶瓷促动器具有***使用寿命®
获得***的PICMA®压电陶瓷促动器是全陶瓷绝缘的。这可以保护它们免受由于泄漏电流增加而导致的潮湿和故障的影响。PICMA®促动器的使用寿命是传统聚合物绝缘致动器的十倍。经过 100 亿次循环验证，无一次故障。
通过无间隙固态接头导向装置实现高导向精度
固态接头导轨无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑剂。它们的刚性使其具有很高的弹性，对冲击载荷和振动不敏感。它们具有 *** 真空能力，可在很宽的温度范围内运行。
通过平行位置测量实现纳米范围内的高路径保真度
所有自由度均根据单个固定基准进行测量。可以实时调节运动到另一个轴的不需要的串扰（取决于带宽）（主动引导）。即使在动态操作中，也能实现纳米范围内的高路径保真度。
P-561.3CD
P-561.3CL
P-562.3CD
P-562.3CL
P-563.3CD
P-563.3CL
P-561.3DD
P-517 • P-527 多轴压电扫描仪
具有直接位置测量功能的高动态纳米定位器/扫描仪
带压电陶瓷驱动器和固态接头的升降/倾斜工作台
2 轴和 3 轴版本（XY 和 XYθZ)
行程可达 200 μm
亚纳米分辨率
应用
测量
干涉
光子学/集成光学
光刻
纳米定位
扫描显微镜
样品比对
微加工
PICMA® 压电陶瓷促动器具有***使用寿命
获得***的PICMA®压电陶瓷促动器是全陶瓷绝缘的。这可以保护它们免受由于泄漏电流增加而导致的潮湿和故障的影响。PICMA®促动器的使用寿命是传统聚合物绝缘致动器的十倍。经过 100 亿次循环验证，无一次故障。
带电容式传感器的亚纳米分辨率
电容式传感器以亚纳米分辨率进行非接触式测量。它们***了***机芯线性度、高长期稳定性和 kHz 范围内的带宽。
通过无间隙固态接头导向装置实现高导向精度
固态接头导轨无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑剂。它们的刚性使其具有很高的弹性，对冲击载荷和振动不敏感。它们在很宽的温度范围内工作。
自动配置和快速组件更换
机械装置和控制器可以根据需要组合并快速更换。所有伺服和线性化参数都存储在机械师D-Sub连接器的ID芯片中。每次控制器打开时，数字控制器的自动校准功能都会自动使用此数据。
通过平行位置测量实现纳米范围内的高路径保真度
所有自由度均根据单个固定基准进行测量。可以实时调节运动到另一个轴的不需要的串扰（取决于带宽）（主动引导）。即使在动态操作中，也能实现纳米范围内的高路径保真度。
P-517.2CD
P-517.2CL
P-517.3CD
P-517.3CL
P-517.RCD
P-527.2CD
P-527.2CL
P-527.3CD
P-527.3CL
P-527.RCD
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