LS系列真空泵被归为螺杆型干式真空泵。以往要提高排气速度就要消耗大量电能,我们通过***的螺杆形状和节电技术的融合,使该系列产品成为兼顾高速排气和低功耗的干式真空泵。
在4种机型中,您可根据设备的大小、使用条件及用途选择排气容量的泵。
特点
■大气压附近的排气速度为80m3/h,与以往的真空泵相比,排气时间可缩短约20%。
■标配的专用消音器能解决干式真空泵***的噪音问题。极限压力时的噪音值在61dB(A)以下,
这是一个在运转过程中也不会打扰到您的噪音等级(*1))
■C规格标配的ECO-SHOCK技术是一种省电的爱发科***技术。
该技术可将极限压力下的消耗电量降到0.6kW以下(*2)
■LS系列无需轴封气体。以氮气和空气等的排气为主的清洁工艺可降低运行成本(*3)
■希望进一步提高排气速度的话,建议您搭配机械增压泵使用。
通过组合使用排气速度可以达到120~1200m3/h。
(*1)LS120A-C时
(*2)C规格时
(*3)L规格还可以使用稀释气体。
用途
LS系列有两种规格。
首先是面向清洁工艺的规格。
为内置ECO-SHOCK的低功耗型,适于空气排气和N2排气等清洁工艺用途。
具体来说,包括溅射、镀膜、贴合/load lock室/TMP辅助等。
其次是面向轻工艺的规格。
具有表面处理和净化功能,适于水蒸汽和挥发性药液排气等轻工艺用途。
具体来说诸如真空干燥、冷冻干燥、灰化和一般工业用途等。
规格
型式 | (C:C式样) (L:L式样) | LS120A | LS300A | LS600A | LS1200A | ||||
C | L | C | L | C | L | C | L | ||
排气速度 | m3/h | 120 | 380 | 600 | 1000 | ||||
到达压力 | Pa | ≦0.6 | ≦0.1 | ||||||
电源电压 | 200V級:3相、50/60Hz、AC200-240V 或 400V級:3相、50/60Hz、AC380-480V | ||||||||
消费电力 概略值 *1 | kW | 0.6 | 2.0 | 1.0 | 2.5 | 1.3 | 2.6 | 1.3 | 2.7 |
冷却水量 | L/min | >2.0 | >4.0 | ||||||
Purge gas 量 *2 | SLM | ‐ | 0~50 | ‐ | 0~50 | ‐ | 0~50 | ‐ | 0~50 |
水蒸气 处理量 *3 | kg/h | ‐ | 1.5 | ‐ | 1.5 | ‐ | 1.5 | ‐ | 1.5 |
噪音值*1 | dB(A) | 61 | 61 | 62 | 64 | ||||
吸气口 | KF50(水平)/ VG50(垂直) | ISO-F-50 | ISO-F-80 | ISO-F-100 | |||||
排气口 | KF40 | KF40 | KF40 | KF40 | |||||
质量 | kg | 142 | 220 | 242 | 266 | ||||
适用规格 | CE、cTUVus | ||||||||
标准附属品 | 电源用连接器、防水电缆夹、信号用连接器、电源连接保护器 | ||||||||
本体选配件 | 电源电压:200V级或400V级、密封部材质:全氟弹性体(仅用于L型) | ||||||||
外部选配件 | MBP吸气口变换Flange、外壳排气Port、耐震固定用金属、LR互换Unit(吸气口、信号)、 Gas purge |
爱发科ULVAC真空泵是基于我们在真空领域的丰富技术和经验而开发的。我们提供一系列适用于所有领域、条件和应用的真空泵,包括涡轮分子泵、低温泵和溅射离子泵。
泵型--全部低温泵、超级陷阱、涡轮分子泵、溅射离子泵、油扩散泵、排气装置、高真空泵油。
低温泵CRYO-U系列 超真空冷冻机
爱发科ULVAC低温真空泵CRYO-U8H、CRYO-U4H、CRYO-U6H、CRYO-U8H、
爱发科ULVAC超真空冷冻机 CRYO-U8H-U、CRYO-U8HL、CRYO-U8HSP、CRYO-U10H、
半导体真空泵ULVAC爱发科CRYO-U1OHSP、 CRYO-U12H、 CRYO-U12HL、 CRYO-U12HSP、
ULVAC爱发科真空泵CRYO-U16、 CRYO-U16P、 CRYO-U20P、 CRYO-U20H、
ULVAC爱发科低温泵CRYO-U22P、 CRYO-U22WB、 CRYO-U22H、 CRYO-U3OH、
日本ULVAC爱发科油回转真空泵VD系列
VD30C / VD40C / VD60C / VD90C/
日本ULVAC螺杆式干式真空泵
爱发科MS120A / MS600A / MS1200A
日本ULVAC爱发科 油回转真空泵
VS系列 ULVAC超真空
VS300A-W
日本ULVAC爱发科超真空泵
油回转真空泵 VS1501/ VS2401
日本ULVAC爱发科
旋片式(单级)油回转真空泵
VS650B-A / VS650B-W / VS650B-WL *1 / VS750B-A / VS750B-W
ULVAC爱发科可选配件
真空干燥器 VDE-3
爱发科ULVAC涡旋式干式真空泵DIS/DISL系列
DIS-252/DISL-252
爱发科ULVAC油回转真空泵
PVD系列
皮带驱动低速旋转泵具有安静、稳定的泵送特性
PVD-180(B) / PVD-360(B)
爱发科ULVAC
多级罗茨干式真空泵
HR/UR系列 UR421-T / UR600 / UR1200 / UR1800 / UR3601-TT/
UR421-T / UR90/ UR90 / UR180 / UR421-T
爱发科ULVAC多级罗茨干式真空泵
GR系列
GR60A GR90A GR180A
爱发科ULVAC 真空泵(低/中真空)
ULVAC 的真空泵是基于我们在真空领域的丰富技术和经验而开发的。除了油回转泵外,我们还拥有适合所有领域、条件和应用的真空泵系列,包括干泵、罗茨型、隔膜型和活塞型。
爱发科ULVAC油回转真空泵VS系列
VS300A-W
爱发科ULVAC油回转真空泵VS系列
VS1501/VS2401
爱发科ULVAC油回转真空泵VS系列
VS650B/VS750B
爱发科ULVAC油回转真空泵VD系列
VD版本C
爱发科ULVAC油回转真空泵
PVD180(B) *1 / PVD-360(B) *1
爱发科ULVAC油回转真空泵
PKS-016 /PKS-030/ PKS-070B *1
爱发科ULVAC油回转真空泵
TMX-1
爱发科ULVAC油回转真空泵
油雾捕集器 TM201
爱发科ULVAC油回转真空泵油雾捕集器
TM401
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TM-2
爱发科ULVAC油回转真空泵油雾捕集器
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TM-3
爱发科ULVAC油回转真空泵油雾捕集器
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爱发科ULVAC油回转真空泵油雾捕集器
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爱发科ULVAC油回转真空泵G系列
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爱发科ULVAC油回转真空泵GLD/GLS系列
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爱发科ULVAC油回转真空泵GLD/GLS系列
GLD-040
爱发科ULVAC油回转真空泵GLD/GLS系列
GLD-051
爱发科ULVAC油回转真空泵GLD/GLS系列
GLD-137AA
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爱发科ULVAC油回转真空泵GCD系列
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爱发科ULVAC油回转真空泵油雾捕集器
OMT-050A
爱发科ULVAC油回转真空泵油雾捕集器
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爱发科ULVAC油回转真空泵油雾分离器
OMC-050/OMC-200
爱发科ULVAC油回转真空泵 前线陷阱
OFI-050C/OFI-200C/OFI-050V/OFI-200V
爱发科ULVAC油回转真空泵 油过滤系统
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