AE 3155999-247 能量射频导航仪智能控制器模块卡件模块

¥1.25万 1 - 99个
¥1.23万 ≥100个

卡件模块产品特性
否是否进口
美国产地

发货地江西瑞昌市 30天内发货供货总量100个

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产品作用：
AE 3155999‑247 射频匹配器（Navigator II），半导体等离子工艺射频阻抗匹配单元，快速完成腔体负载阻抗匹配，保障射频功***效馈入工艺腔体。
产品特点：
1. 高速伺服调谐，负载阻抗变化时快速完成匹配，降低功率反射
2. 内置电弧检测保护，异常驻波瞬间保护射频电源与工艺腔体
3. 风冷散热结构，机架式标准安装，适配 AMAT 平台机柜
4. 支持以太网与模拟 IO 接口，可远程读写匹配状态与参数
5. 抗工艺干扰，适配刻蚀、沉积工况下负载频繁波动场景
产品参数：
1. 设备类型：Navigator II 射频匹配网络
2. 工作频率：13.56MHz
3. 适配射频功率：6000W
4. 冷却方式：强制风冷
5. 工作温度：5‑50℃，机柜机架安装
应用领域：
1.AMAT 刻蚀设备等离子腔体阻抗匹配
2.PVD 磁控溅射薄膜沉积射频回路匹配
3. 半导体去胶、等离子清洗工艺系统
4. 射频电源与工艺腔体之间阻抗调配
5. 半导体量产设备射频回路配套单元
快速调谐与稳定的阻抗适配能力，让 AE 3155999‑247 成为半导体等离子工艺系统关键匹配部件

企业简介：

瑞昌明盛自动化设备有限公司是一家专业（DCS系统）（机器人系统）（大型伺服控制系统）模块备件销售,公司产品内容为分布式控制系统(DCS) ,可编程序控制器(PLC)， MOTOROLA MVME工业用模组，工业控制通訊转换器(Anybus) ，远端输出/输入模块(RTU) ，工业电脑(IPC)、工业用低頻萤幕(IPC) ，人机界面SCSI(50,68,80Pin) AnyBus(Gateway

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