Advanced Energy 3150058-002 射频发生器智能控制器模块

¥1.25万 1 - 99个
¥1.23万 ≥100个

卡件模块产品特性
否是否进口
美国产地

发货地江西瑞昌市 30天内发货供货总量100个

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产品作用：
Advanced Energy 3150058‑002 射频发生器（RF‑20RWC），为半导体等离子体工艺提供稳定射频功率输出。
产品特点
1、输出功率控制精度高，等离子体工况下功率输出稳定
2、内置电弧抑制保护，快速处理打火，降低工艺损耗
3、水冷散热设计，可支持长时间连续满负载运行
4、具备本地面板操作，同时支持模拟信号远程控制
5、机架式标准机箱，适配半导体设备机柜安装
产品参数
1、三相输入 208VAC，50/60Hz
2、额定输出功率 2000W，输出频率 12.56MHz
3、水冷冷却方式，保障整机散热性能
4、支持模拟接口，可对接设备主控系统
5、标准工业机架安装结构
应用领域
1、半导体等离子刻蚀工艺设备
2、薄膜沉积 PVD 工艺腔体
3、半导体腔体清洗工艺系统
4、真空等离子处理设备
5、科研真空等离子实验平台
Advanced Energy 3150058‑002 射频发生器是半导体工艺设备中常用的射频功率备件。

企业简介：

瑞昌明盛自动化设备有限公司是一家专业（DCS系统）（机器人系统）（大型伺服控制系统）模块备件销售,公司产品内容为分布式控制系统(DCS) ,可编程序控制器(PLC)， MOTOROLA MVME工业用模组，工业控制通訊转换器(Anybus) ，远端输出/输入模块(RTU) ，工业电脑(IPC)、工业用低頻萤幕(IPC) ，人机界面SCSI(50,68,80Pin) AnyBus(Gateway

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