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AE 3156330-160 射频发生器 卡件模块 智能控制器模块 全新

参数
  • 卡件模块产品特性
  • 否是否进口
  • 美国产地
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瑞昌明盛自动化设备有限公司 6年
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产品详情

产品实拍

产品特色
  • 产品作用:

AE 3156330-160 是 Paramount 3013 系列数字射频电源,半导体等离子工艺主力供电单元

1. 数字化功率闭环调控,输出波动极小

2. 内置电弧抑制算法,快速熄灭腔体内打火

3. 支持多工艺模式切换,适配不同制程配方

4. 水冷结构散热,持续大功率运行稳定

5. 自带多通道信号采集,方便远程诊断

1. 型号 3156330-160,AE Paramount3013 射频源

2. 额定 3000W 输出功率

3. 工作频率 13.56MHz

4. 搭载网口 + 串口双通讯

5. 前面板 LED 状态指示灯

适用场景

1. 硅及介质层干法刻蚀设备

2.HDP-CVD 高密度薄膜沉积

3. 等离子体腔体清洁工序

4.ALD 等离子增强制程

5. 半导体设备备件更换

总的来说 AE 3156330-160 是 3kW 大功率数字射频电源,高密度沉积与刻蚀设备维修常用备件

企业介绍
企业简介:

 

瑞昌明盛自动化设备有限公司是一家专业 (DCS系统)(机器人系统)(大型伺服控制系统)模块 备件销售,公司产品内容为分布式控制系统(DCS) ,可编程序控制器(PLC), MOTOROLA MVME工业用模组 ,工业控制通訊转换器(Anybus) ,远端输出/输入模块(RTU) ,工业电脑(IPC)、 工业用低頻萤幕(IPC) ,人机界面SCSI(50,68,80Pin) AnyBus(Gateway 

公司自成立以来始终坚持以纯电子商务模式运营,缩减中间环节,为消费者在***时间提供优质的产品及满意的服务,为您的生产以及采购工作提供‘安全 快捷 方便’ 


售后说明
  • 物流配送

  • 我们使用顺丰快递/德邦快递

  • 付款方式

  • 对公付款,全款到账发货

  • 退换货政策

  • 所有产品享受一年保修期

  • 票据制度

  • 可开具增值税发票


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