直流脉冲磁控溅射电源
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直流磁控溅射电源
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FLOW系列气体流量控制电源技术规格 | |
本系列产品为气体质量流量控制相匹配的控制、显示电源。可对各种气体质量流量进行***的控制、测量、显示。其主要特点为具有多达四种以上气体应用的独立控制、比例控制、独立比例复合控制,其比例控制有针对性地满足重复生产工艺的一致性。其中FLOW-1N4设置了外部控制所需要的5个0-5V模拟输入接口,4个控制质量流量控制器开关状态的开关量接口以及1个总电源开关机接口,适用于各种生产线自动控制气体流量的场合,同时也兼顾了本机操作 。 | |
输入电源 | AC220V±10% 50-60Hz |
控制路数 | FLOW-1N4四路 FLOW-1N5五路 |
控制方式 | 比例 独立 比例/独立手动选择 流量手动/外控调节 控制器打开*关闭手动控制/外部控制 电源开关机手动控制/外部控制 |
响应时间 | 10s |
电源消耗 | <25W |
外形尺寸 | 440mm×142mm×258mm |
重量 | 11kg |