直流磁控溅射电源
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直流脉冲磁控溅射电源
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BIV-40/60系列偏压电源技术规格 | |
BIV-40/60系列偏压电源工作于高频二级变换模式,正负双极性脉冲、反向单极性脉冲、 反向直流三种输出方式。电源的正向电压随动调整,频率及占空比独立调整。因电源输出具备双极性特征,可预前抑制工件表面积累电荷造成的打火现象,消除镀件电弧击伤,并改变膜层沉积规则。BIV-40/60系列偏压电源输出采用一段式调节,电流自动匹配电压输出,没有档位切换产生的电压跳变和断点,结合多种输出模式使此系列电源更适合硬质膜层沉积。 | |
电源功率范围 | 40KW/60KW |
副电源功率 | 12KW |
输入电源 | 三相四线制380V±10%50-60Hz |
输出方式 | 双极性脉冲/反向单极性脉冲/反向直流 |
脉冲频率 | 40KHz |
脉冲占空比 | 0-***连续调节 |
输出电压 | 0-1000V[直流/峰值电压] |
副电源输出电压 | 0-120V[副电源,峰值电压] |
灭弧时间 | ≤1uS |
输出精度 | 优于1% |
冷却方式 | 水冷 |
辅助功能 | 高温、结露报警 |
使用环境 | 环境温度 0-40℃ 环境湿度 相对湿度≤85% 空气清洁 无粉尘 无腐蚀性易燃性气体 通风良好 |
冷却水 | 清洁 不含矿物质及其他可溶性物质 水温 20-30℃ 压力 0.15±0.05Mpa |
通讯方式 | 模拟/RS485/RS232 |
说明:电源的输出特性可根据使用需要作相应调整 |