直流磁控溅射电源
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直流脉冲磁控溅射电源
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SCA系列中频辉光清洗电源技术规格 | |
SCA中频辉光清洗电源工作于二级高频变换模式,交流输出频率40KHZ。电源以辉光放电环境里的两个电极为负载,对电极间的金属或非金属工件表面进行粒子轰击,使工件表面的有机污染物分解,或通过伴生的微弧放电燃烧分解污染物。经过清洗后的工件清洁度及表面活性得到充分提高,从而增强膜层的结合力。 | |
电源功率范围 | 15/30 KW |
输入电源 | 三相四线制380V±10%50-60Hz |
输出方式 | 交流正弦波 |
输出频率 | 40KHz |
输出电压等级 | 空载3000V/5000V[有效值] |
输出特性 | 恒流/恒功率/恒压 |
灭弧时间 | ≤1uS |
输出精度 | 优于1% |
冷却方式 | 15KW风冷 30KW水冷 |
辅助功能 | 高温、结露报警(限于水冷机型) |
使用环境 | 环境温度 0-40℃ 环境湿度 相对湿度≤85% 空气清洁 无粉尘 无腐蚀性易燃性气体 通风良好 |
冷却水 | 清洁 不含矿物质及其他可溶性物质 水温 20-30℃ 压力 0.15±0.05Mpa |
通讯方式 | 模拟/RS485/RS232 |
说明:电源的输出特性可根据使用需要作相应调整 |