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高能对应离子注入设备SOPHI-400

参数
  • 离子注入产品特性
  • 加工定制
  • ULVAC爱发科品牌
北京 朝阳区 90天内发货 2台
北京亚科晨旭科技有限公司 1年
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产品详情

高能对应离子注入设备SOPHI-400

可对应至2400KeV的高能离子注入装置。


 

产品特性 / Product characteristics

枚叶式

可对应薄片Wafer

平行Beam

产品应用 / Product application

 •       功率器件相关薄片基板工艺、IGBT工艺


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