Sentech刻蚀机
面议
K&S手动金丝球焊机
面议
国产晶圆薄膜应力测量仪可硅片应力测试|硅片翘曲测试|缺陷成像
¥800000.00
特点:
晶圆/基片尺寸从零碎片到200毫米/ 8英寸
顶部和底部对准功能
高精度对准
自动楔形补偿序列
电动的和程序控制的曝光间隙
支持***的UV-LED技术
最小化系统占地面积和设施要求
分步流程指引
远程技术支持
多用户概念(***数量的用户帐户和程序,可分配的访问权限,不同语言)
敏捷的处理和转换重新加工
台式或独立式带防振花岗岩台面
附加功能:
键合对准
红外对准
纳米压印光刻(NIL)
关键技术参数:
顶部对准精度:≤ ± 0,5 微米
底部对准精度:≤ ± 2,0 微米
红外对准模式:≤ ± 2,0 微米/取决于基片的材料
接触:硬、软接触,真空
曝光间隙:1 - 1000 微米
线宽精度:1微米
更多资料 请联系公司销售人员