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真空炉广泛用于电力电子器件、玻封二级管、气体放电管、磁性材料、热敏电阻等器件的真空烧结、封装、焊接、合金、退火等工艺。
设备分类：从结构上分为卧式、立式、箱式，以真空度上分为低真空、高真空，从使用温度上分为低温、高温，从真空室材料上分为石英管、耐热不锈钢管，从真空获得上分机械泵、机械泵+扩散泵、机械泵+分子泵。
主要技术参数
◆工艺管数量：可根据客户需求制作为1-4管
◆工艺管口径：Φ90-360mm（3～12英寸）
◆结构型式：卧式热壁型或立式
◆工作温度范围：400～1280℃
◆气体流量设定精度:±1％F.S
◆气路系统气密性： 1×10-7pa.m3/s
◆恒温区长度及精度±0.5℃/1080mm
◆工艺均匀性:≤±5％（30~60欧姆）
◆超净工作台：净化等级：100级（万级厂房）
噪音：≤62dB（A）
震动：≤3μm
◆控制方式： 工业微机控制
◆记录工艺曲线数量及工艺步数不受限制
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