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涡轮分子泵
UTM-MI 系列
UTM-MI
ULVAC
采用磁浮轴承控制器一体型涡轮分子泵。通过泵的本体和控制器一体化，实现了省配线，省空间。
特点
泵体和控制器一体化
泵体和控制器之间不需要复杂的布线工作。
安装方向自由
安装方向没有限制，扩展了设备设计的自由度。
广域大流量设计，适用于轻工艺
泵速可以在25％至100％的范围内变化，腔室的压力可以调节。
高耐久性和安全性
已经通过各种安全确认测试，例如空气冲击测试和触地测试。
用途
各种设备的主真空排气系统
半导体制造设备
蒸发设备
溅射设备
分析设备
实验设备等
研究开发设备
不会生成副反应物的轻工艺的主排气系统
替换设备上的有扩散泵
其他一般高真空排气用途
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