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Bruker 探针式表面轮廓仪（台阶仪）-DektakXT
一、概述
布鲁克DektakXT （探针式表面轮廓仪）设计创新，实现了更高的重复性和分辨率，垂直高度重复性<5Å。这一里程碑式的产品源自于Dektak系列占据******长达四十年的优异表面测量技术。实现了纳米尺度的表面轮廓测量，在微电子、半导体、太阳能、高亮度LED、触摸屏、医疗、科学研究和材料科学领域大显身手。
台阶高度重复性优于5埃（<5 Å）
· 单拱龙门式设计实现了突破性的扫描稳定性
· ***的”智能化电子器件”实现了低噪声的***
操作简便，高效易用
· 直观化的Vision64TM软件简化了用户界面的操作过程
· 独特的传感器设计使得在单一平台上即可实现超微力和较大的力测量
· 自对准的探针设计使用户可以***地更换探针
探针式轮廓仪的全球ling dao者
· 性能***，物超所值
· 完备的零配件为您优化或延伸机台的多种应用提供保障
二、历史：技术创新四十余年
过去四十年间，世界范围内有上万台Dektak系列产品应用于各个领域，广泛用于膜厚、应力、表面粗糙度和面形的测量。它们以优质、可靠、高效等特性广受赞誉。
三、性能：设计***、性能***
台阶仪性能优劣取决于以下三个方面：测试重复性、测试速度以及操作难易程度。这些因素决定了实验数据的质量和实验操作的效率。DektakXT采用全新的仪器系统构造和zui优化的测量以及数据处理软件来实现可靠、快速和简单的样品检测，达到zui佳的仪器使用效果。
优异的测试重复性
l DektakXT™探针轮廓仪***的设计***了其优异的性能，测量重复性达到5埃以下。
l 使用单拱龙门式设计比之前的悬臂梁设计更坚固持久不易损坏，大大降低了周围环境中声音和震动噪声对测试信号的影响。
l 布鲁克完善了仪器的智能化电子器件，提高了工作性能的稳定性，降低了温度变化对器件的影响；系统和环境噪音引起的测量误差降低到zui小。
单拱门设计和智能化器件联用， 独特的传感器设计使得在单一平台
降低基座噪音，提高测试性能 可以实现超微力和正常测试
快捷的测试&数据分析速度
l shou次采用独特高速的直接驱动扫描样品台，在不牺牲分辨率和基底噪声水平的前提下，大大缩短了每次扫描的间隔时间。从而在***扫描质量和重复性的前提下，将数据采集处理速度提高了40%。
l 采用具有64位数据并行处理的软件Vision64，提高了大范围3D形貌图的处理速度。
l Vision64具备有效直观的用户界面，简化了实验操作设置，可以自动完成多扫描模式，使枯燥、繁杂的实验工作变得快速简洁。
采用64位数据采集及同步分析软件Vision64 具备迅速便捷的换针方案，
提高数据采集和分析速度 提供各种规格针尖
简便易行的操作系统
l 新颖的探针和部件自动对准装置，避免了探针损伤。提高操作的简便性。
l 提供各种标准探针和***探针。
完善的数据采集和分析系统
l Vision64 软件提供了实用简洁的用户界面，可视化使用流程，及各种参数自助设定等。
l 各种数据分析功能的操作简便、快捷，使用者可以快速高效地进行分析。
具备***的3D形貌图像扫描和分析模式
四、应用
布鲁克探针式表面轮廓仪历经四十载，从传统的二维表面粗糙度和台阶高度测量，到更***的三维表面成像和薄膜应力测试，Dektak台阶仪适用面极广，为用户提供准确性高，重复性佳的测量结果。在教育、科研领域和半导体制程控制领域，Dektak广泛用于膜厚、应力、表面粗糙度和面形的测量。
薄膜监控
l 通过及时监测薄膜厚度和刻蚀速率的均匀性以及薄膜应力，实现有效工艺控制，可以提高生产良率，为客户节省时间和费用。
l DektakXT易于设定、测量快捷，通过不同位置的多点自动测量可以跟踪晶片的薄膜厚度，测量精度可达纳米级别。
l DektakXT ***的测试性能，为工程师提供了准确的薄膜厚度和应力测量，使其可以用来***调节刻蚀和镀膜工艺，提高产品的良率。
混合电路的DektakXT 3D图像 可以可靠测量厚度小于10nm的薄膜
表面粗糙度测量
l DektakXT可以快速测量材料的表面粗糙度，可以获得材料的质量信息：比如晶体生产是否满足要求，或手术植入体是否可以通过医学审核允许使用。使用软件中的数据库功能，设定 合格/淘汰条件，质量人员可以轻松确定
微机电系统（MEMS）
l 市场上wei yi可以测量敏感材料1mm高垂直台阶的台阶仪，且测试重复性在埃米级别；
l 为微机电系统（MEMS）研究提供了可靠的关键尺寸测量手段，确保器件满足要求；
l 具有超微力（NLite+）测量功能，可以***在测量敏感材料时，轻触材料表面而不破坏样品表面，得到台阶高度以及表面粗糙度数据。
太阳能电池栅线分析
l 在太阳能领域，DektakXT作为测量单晶硅、对晶硅电池上主栅、银线特征尺寸的shou选设备。
l ***测量栅线的高度、宽度。节约了贵金属银的使用量，同时***了电池板的zui佳导电性。Version64的数据分析方法和自动操作能力使这一检验核实的过程通过特定设置后自动完成。
Bruker三维光学表面轮廓仪-ContourGT-K0
布鲁克 (Bruker) 是表面测量和检测技术的全球***，服务于科研和生产领域。***白光干涉仪ContourGT系列结合了***的64位多核操作和分析处理软件，技术白光干涉仪（WLI）硬件和***的操作简易性，是历年来来进的3D光学表面轮廓仪系统。该系统拥有超大视野内亚埃级至毫米级的垂直计量范围，样品安装灵活，且具有***的测量重复性。ContourGT系列是当今生产研究和质量控制应用中，***使用和最直观的3D表面计量平台。
应用：
对LED行业、太阳能行业、触摸屏行业、半导体行业以及数据存储行业等，提供全方位非接触式测量方案，样品从小至微米级别的微机电器件（MEMS），大到整个引擎部件，都可以获得表面形貌、粗糙度、三维轮廓等精准数据
原理：
利用干涉原理测量光程之差从而测定有关物理量的光学仪器。两束相干光间光程差的任何变化会非常灵敏地导致干涉条纹的移动，而某一束相干光的光程变化是由它所通过的几何路程或介质折射率的变化引起，所以通过干涉条纹的移动变化可测量几何长度或折射率的微小改变量，从而测得与此有关的其他物理量。测量精度决定于测量光程差的精度，干涉条纹每移动一个条纹间距，光程差就改变一个波长(～10-7米)，所以干涉仪是以光波波长为单位测量光程差的，其测量精度之高是任何其他测量方法所无法比拟的。
特征：
◆ ***的垂直分辨率，大的测量性能；
l 0.5~200倍的放大倍率；
l 任何倍率下亚埃级至毫米级垂直测量量程；
l 高分辨率摄像头；
◆ 测量硬件的独特设计，增强生产环境中的可靠性和重复性；
l 较高的震动的容忍度和GR&R测量的能力
l 的自动校准能力；
◆ 多核处理器下运行的Vision64™ 软件，大大提高三维表面测量和分析速度
l 数据处理速度提高几十倍；
l 分析速度提高十倍；
l 无以伦比的大量数据无缝拼接能力；
◆ 高度直观的用户界面，拥有***的实用性，操作简便和分析功能强大
l 优化的用户界面大大简化测量和数据分析过程；
l 独特的可视化操作工具；
l 可自行设置数据输出的界面；
参数：
XY样品台： 150mm（6in）手动样品，样品台±6°倾斜调整
Z方向聚焦： 100mm手动聚焦
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