天津供应日本ULVAC爱发科真空泵 -（多级罗茨型干泵）GR90A
¥5999.00
半导体工业泵日本ULVAC爱发科真空泵（多级罗茨型干泵）GR180A
¥5999.00
日本ULVAC爱发科 -（多级罗茨型干泵）CR16B真空泵 低温区域泵类
¥5999.00
日本ULVAC爱发科真空泵 -ULVAC（多级罗茨型干泵）CR60B-S
¥5999.00
多级罗茨型干泵
LR 系列
通过低温区域的泵体均热化，在PVD工艺之外，尤其适于那些为了提高产能而需要缩短排气时间的重要的备料下料室排气的一款泵。
特点
低温区域均热化（LR系列）
在PVD工艺之外，尤其适于那些为了提高产能而需要缩短排气时间的重要的备料下料室排气的一款泵。
氦气密封
通过搭载屏蔽电动机形成密闭结构，非常安全。
瞬停对策
采取了1000msec以内瞬停对策。
***耐腐蚀性
主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蚀性的特殊表面处理。降低腐蚀性气体排气时对泵内部的腐蚀。
通信功能
可读取与泵运转状态相关的数据、警告/报警履历。如果使用专用软件进行计算机通信，则可实现集中监控。
用途
成膜装置（溅射装置/蒸镀装置等）
缩短备料下料室的排气时间
作为辅助排气泵（涡轮分子泵、机械增压泵的辅助排气）
| 型号 | LR300 | LR600 | LR1200 | LR1800 | LR3601 | LR3601-T (TT) | LR3601-R | LR3601-TR (TTR) | |
| 使用泵 | 干式 真空泵 | LR60 | LR90 | LR90 | LR180 | LR421 | LR421-T | LR421 | LR421-T |
| 机械 增压泵 | PRC-03A | PRC-06A | PRC-012A | PRC-018A | PRC-036C | PRC-036C (-T) | PRC-036D | PRC-036D (D-T) | |
排气 速度 | 50Hz | 359 m3/h (5,980 L/min) | 653 m3/h (10,900 L/min) | 1,012 m3/h (16,900 L/min) | 1,701 m3/h (28,350 L/min) | 3,200 m3/h(53,333 L/min) | |||
| 60Hz | 365 m3/h (6,080 L/min) | 701 m3/h (11,700 L/min) | 1,051 m3/h (17,500 L/min) | 1,784 m3/h (29,700 L/min) | |||||
| 到达压力 | 0.67 Pa | ||||||||
| 排气压力 （吸入圧力） | 大气压 | ||||||||
| 排气口压力 （排出圧力） | 1~ 大气压 Pa | ||||||||
| 吸气口 (CE规格) | VG80 (KF80) | VG100 (KF100) | VG150 (KF100) | VG150 | |||||
| 排气口 | KF40 | KF50 | |||||||
| MBP表面处理 | 〇 *1 | 〇 *1 | 〇 *1 | 〇 *1 | × | T:× TT:× | × | TR:× TTR:〇 | |
| 质量 | 275 kg | 370 kg | 420 kg | 545 kg | 660 kg | 720 kg | 660 kg | 720 kg | |
| 电源 *2 | 三相 | 200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz) | 180~240 VAC/380~440 VAC(50/60 Hz) | ||||||
| 电流值 | 稳定时 | 7.0 A (at 200V) | 12.3 A (at 200V) | 13.7 A (at 200V) | 21.4 A (at 200V) | 31.0 A(at 200V) 20.5 A(at 400V) | 35.4 A(at 200V) 20.5 A(at 400V) | ||
| 值 | 9.6 A (at 200V) | 19.0 A (at 200V) | 24.2 A (at 200V) | 39.8 A (at 200V) | 58.4 A(at 200V) 40.5 A(at 400V) | 82.0 A(at 200V) 40.5 A(at 400V) | |||
| 冷却水 一次压力 | 0.1~0.3 MPa | 0.2~0.5 MPa | |||||||
| 冷却水 出入口压差 | >0.1 MPa | 0.1~0.3 MPa | 0.2~0.5 MPa | ||||||
| 冷却水流量 | >5.0 L/min | >4.0 L/min | |||||||
| 吹扫气 | 一次 压力 | 0.1~0.5 MPa | |||||||
| 二次 压力 | 0.05~0.1 MPa | ||||||||
| N2 吹扫 | 轴 | 5 SLM | |||||||
| 气镇 | 0~45 SLM | 没有 *3 | 0~45 SLM | 没有 *3 | 0~45 SLM |
爱发科ULVAC真空泵是基于我们在真空领域的丰富技术和经验而开发的。我们提供一系列适用于所有领域、条件和应用的真空泵，包括涡轮分子泵、低温泵和溅射离子泵。
泵型--全部低温泵、超级陷阱、涡轮分子泵、溅射离子泵、油扩散泵、排气装置、高真空泵油。
低温泵CRYO-U系列 超真空冷冻机
爱发科ULVAC低温真空泵CRYO-U8H、CRYO-U4H、CRYO-U6H、CRYO-U8H、
爱发科ULVAC超真空冷冻机 CRYO-U8H-U、CRYO-U8HL、CRYO-U8HSP、CRYO-U10H、
半导体真空泵ULVAC爱发科CRYO-U1OHSP、 CRYO-U12H、 CRYO-U12HL、 CRYO-U12HSP、
ULVAC爱发科真空泵CRYO-U16、 CRYO-U16P、 CRYO-U20P、 CRYO-U20H、
ULVAC爱发科低温泵CRYO-U22P、 CRYO-U22WB、 CRYO-U22H、 CRYO-U3OH、
日本ULVAC爱发科油回转真空泵VD系列
VD30C / VD40C / VD60C / VD90C/
日本ULVAC螺杆式干式真空泵
爱发科MS120A / MS600A / MS1200A
日本ULVAC爱发科 油回转真空泵
VS系列 ULVAC超真空
VS300A-W
日本ULVAC爱发科超真空泵
油回转真空泵 VS1501/ VS2401
日本ULVAC爱发科
旋片式（单级）油回转真空泵
VS650B-A / VS650B-W / VS650B-WL *1 / VS750B-A / VS750B-W
ULVAC爱发科可选配件
真空干燥器 VDE-3
爱发科ULVAC涡旋式干式真空泵DIS/DISL系列
DIS-252/DISL-252
爱发科ULVAC油回转真空泵
PVD系列
皮带驱动低速旋转泵具有安静、稳定的泵送特性
PVD-180(B) / PVD-360(B)
爱发科ULVAC
多级罗茨干式真空泵
HR/UR系列 UR421-T / UR600 / UR1200 / UR1800 / UR3601-TT/
UR421-T / UR90/ UR90 / UR180 / UR421-T
爱发科ULVAC多级罗茨干式真空泵
GR系列
GR60A GR90A GR180A
爱发科ULVAC 真空泵（低/中真空）
ULVAC 的真空泵是基于我们在真空领域的丰富技术和经验而开发的。除了油回转泵外，我们还拥有适合所有领域、条件和应用的真空泵系列，包括干泵、罗茨型、隔膜型和活塞型。
爱发科ULVAC油回转真空泵VS系列
VS300A-W
爱发科ULVAC油回转真空泵VS系列
VS1501/VS2401
爱发科ULVAC油回转真空泵VS系列
VS650B/VS750B
爱发科ULVAC油回转真空泵VD系列
VD版本C
爱发科ULVAC油回转真空泵
PVD180(B) *1 / PVD-360(B) *1
爱发科ULVAC油回转真空泵
PKS-016 /PKS-030/ PKS-070B *1
爱发科ULVAC油回转真空泵
TMX-1
爱发科ULVAC油回转真空泵
油雾捕集器 TM201
爱发科ULVAC油回转真空泵油雾捕集器
TM401
爱发科ULVAC油回转真空泵油雾捕集器
TM-2
爱发科ULVAC油回转真空泵油雾捕集器
TM-2F
爱发科ULVAC油回转真空泵油雾捕集器
TM-3
爱发科ULVAC油回转真空泵油雾捕集器
TM-3F
爱发科ULVAC油回转真空泵油雾捕集器
TM-4
爱发科ULVAC油回转真空泵油雾捕集器
TM-4F
爱发科ULVAC油回转真空泵油雾捕集器
TM-4S
爱发科ULVAC油回转真空泵G系列
G-5SA
爱发科ULVAC油回转真空泵G系列
G-5DA
爱发科ULVAC油回转真空泵G系列
G-10DA
爱发科ULVAC油回转真空泵G系列
G-20DA
爱发科ULVAC油回转真空泵G系列
G-50DA
爱发科ULVAC油回转真空泵G系列
G-101D
爱发科ULVAC油回转真空泵G系列
G-25SA
爱发科ULVAC油回转真空泵G系列
G-50SA
爱发科ULVAC油回转真空泵G系列
G-5SA
爱发科ULVAC油回转真空泵G系列
G-101S
爱发科ULVAC油回转真空泵GLD/GLS系列
GLS-051
爱发科ULVAC油回转真空泵GLD/GLS系列
GLD-040
爱发科ULVAC油回转真空泵GLD/GLS系列
GLD-051
爱发科ULVAC油回转真空泵GLD/GLS系列
GLD-137AA
爱发科ULVAC油回转真空泵GLD/GLS系列
GLD-137CC
爱发科ULVAC油回转真空泵GLD/GLS系列
GLD-202AA
爱发科ULVAC 油回转真空泵GLD/GLS系列
GLD-202BB
爱发科ULVAC油回转真空泵GLD/GLS系列
GLD-280A
爱发科ULVAC油回转真空泵GHD系列
GHD-031A
爱发科ULVAC油回转真空泵GHD系列
GHD-101A
爱发科ULVAC油回转真空泵GCD系列
GCD-051X
爱发科ULVAC油回转真空泵GCD系列
GCD-136X
爱发科ULVAC油回转真空泵GCD系列
GCD-201X
爱发科ULVAC油回转真空泵油雾捕集器
OMT-050A
爱发科ULVAC油回转真空泵油雾捕集器
OMT-100A/OMT-200A
爱发科ULVAC油回转真空泵内联陷阱
OMI-100/ OMI-200
爱发科ULVAC油回转真空泵油雾分离器
OMC-050/OMC-200
爱发科ULVAC油回转真空泵 前线陷阱
OFI-050C/OFI-200C/OFI-050V/OFI-200V
爱发科ULVAC油回转真空泵 油过滤系统
UFO-003/UFW-003
代 理日本各类工业品:SAN-EI三英(点胶阀），MUSASHI武藏点胶机（点胶机），SINFONIA昕芙旎雅（半导体晶圆搬运设备）UNIX优尼（焊锡机）,Nordson诺信EFD（点胶机），IEI岩下（点胶机），aicohsha爱工舍ACM（立式搅拌机），日本KURABO仓纺脱泡机，日本THINKY日新基脱泡机，KLEENTEK可滤特（静电净油机），ASAHIKASEI旭化成（工业泵），TAGAWA十川（软管），YODOGAWA淀川（集尘机），MALCOM马康（锡膏粘度计），USHIO牛尾（点光源），SHOWA昭和电机（鼓风机），TSUBAKI椿本链条，KIKUSUI菊水（电源），CEDAR思达（扭力测试仪），MEISEI迈泽（电热剥线器）、SANKO山高(膜厚仪)、TAKASAGO高砂制作所（直流电源）、CCS光源(光源)、Tsubosaka壶坂（辉度箱）、POLARION普拉瑞（探照灯）AITEC艾泰克（检查光源）、Iwasaki岩崎（金卤灯）、OTSUKA大塚电子（光学膜厚仪）、KOSAKA小坂（台阶仪）、HORIBA堀场仪器（分析仪）、cosmo科斯莫（气体测试仪）、SIBATA柴田科学（环境测定）、TORAY东丽浓度仪（氧气分析仪）、RION理音（测振仪）、HOKUTO DENKO北斗电工、SANYOSEIKO山阳精工、日本IMV爱睦威地震仪、TML东京测器、TOE东京光电子、SIGMAKOKI西格玛光机、FLOWELL 福威、ASAHI旭有机材、LUCEO鲁西欧（偏光应力仪）、KYOWA共和（应变片）、ONOSOKKI小野（传感器）、FUJIKURA藤仓（单向阀）TOKISANGYO东机产业（粘度计）、SK新泻精机（水平测量尺）SKSATO佐藤（温度记录仪）、TECLOCK得乐（硬度计）、AND爱安得（电子天平）、KEM京都电子（水分仪）、TOHNICHI东日（扭力扳手）、Heishin兵神（定子）、TOKKYOKIKI特许机器（抗震台）、ULVAC爱发科泵、IWAKI易威奇（泵）、kashiyama柏山（干式泵）、MARUYAMA丸山(泵)、AMAYA天谷制作所(半导体晶圆设备)、YUASA汤浅(弯折试验机)、SIMCO思美高（离子棒），SSD西西蒂(离子风扇)，DIT东日技研（防静电），KASUGA春日(离子棒)，TRINC高柳(静电仪器设备)、Kanetec强 力(高斯计)、SAKURAI樱井(无尘纸)、Nitto-Kohki日东工器(快速接头)、NIRECO尼利可(传感器)、TOFCO东富科(流量计)、eoptics颐光科技(反射膜厚仪)、Filmetrics优尼康(膜厚测量仪)、TOKYO KE***东京计装(超声波液位计)、RKC理化工业(数显控制器)、YAMATO雅玛拓（恒温箱）YAMADA雅玛达(隔膜泵)、KOFLOC小岛(浮子流量计）
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