天津供应日本ULVAC爱发科真空泵 -（多级罗茨型干泵）GR90A
¥5999.00
半导体工业泵日本ULVAC爱发科真空泵（多级罗茨型干泵）GR180A
¥5999.00
日本ULVAC爱发科 -（多级罗茨型干泵）CR16B真空泵 低温区域泵类
¥5999.00
日本ULVAC爱发科真空泵 -ULVAC（多级罗茨型干泵）CR60B-S
¥5999.00
多级罗茨型干泵
GR 系列
干泵GR系列是以获得良好业绩和信赖的LR/HR系列为基础设计的，面向一般产业设计的简单结构的泵。
特点
可应用于大气真空间反复抽气的高负荷领域，可在高负荷下持续使用。
适用load lock室（装载/卸载室），可实现高吞吐量。
感应电机可通用
可以安装防爆电机等特殊电机（可选）
采用多电压兼容电机
用途
空气、惰性气体等洁净气体的真空排气
各种成膜设备放入取出室的真空排气
真空干燥，真空气体置换和真空脱泡等一般产业
真空气体置换，如真空热隔绝和气体填充
规格
| 型号 | GR60A | GR90A | GR180A | ||
| 排气速度 | 50Hz | m3/h(L/min) | 62(1030) | 112(1030) | 183(3100) |
| 60Hz | m3/h(L/min) | 80(1333) | 126(2100) | 237(3850) | |
| 极限压力 *1 | Pa | 5.0 | |||
| 排气压力（吸入圧力） | 大气压 | ||||
| 排气口压力（排出圧力） | Pa | 1.0 ~ 大气压 | |||
| 吸气口 | VG50 | VG80 | |||
| 排气口 | NW40 | ||||
| DRP表面处理 | 〇 | ||||
| 电机 | 输出 [kW] | 2.2 | 3.7 | 7.5 | |
| 电压 [V] | 50Hz | 200~240/380~415 | |||
| 60Hz | 200~240/380~460 | ||||
| 质量 | kg | 128 | 188 | 268 | |
| 冷却方式 | 冷却水 一次供给压力 | MPa | 0.1~0.3 | ||
| 冷却水 出入口压差 | MPa | >0.1 | |||
| 冷却水温度 | ℃ | 10~30 *2 | |||
| 冷却水流量 | L/min | >5.0 | |||
| 氮气 | 一次侧 供给圧力 | MPa | 0.1~0.5 | ||
| 二次侧 调整圧力 *3 | MPa | 0.05 to 0.1 (运作时) | |||
| 轴 | SLM | 5.0 *4 |
*1 极限压力是氮气（轴封气体）为5.0 SLM时的值。
*2 不结露。
*3 通过调节器调节压力计值。
*4 氮气（轴封气体）的流量固定为5.0SLM。
爱发科ULVAC真空泵是基于我们在真空领域的丰富技术和经验而开发的。我们提供一系列适用于所有领域、条件和应用的真空泵，包括涡轮分子泵、低温泵和溅射离子泵。
泵型--全部低温泵、超级陷阱、涡轮分子泵、溅射离子泵、油扩散泵、排气装置、高真空泵油。
低温泵CRYO-U系列 超真空冷冻机
爱发科ULVAC低温真空泵CRYO-U8H、CRYO-U4H、CRYO-U6H、CRYO-U8H、
爱发科ULVAC超真空冷冻机 CRYO-U8H-U、CRYO-U8HL、CRYO-U8HSP、CRYO-U10H、
半导体真空泵ULVAC爱发科CRYO-U1OHSP、 CRYO-U12H、 CRYO-U12HL、 CRYO-U12HSP、
ULVAC爱发科真空泵CRYO-U16、 CRYO-U16P、 CRYO-U20P、 CRYO-U20H、
ULVAC爱发科低温泵CRYO-U22P、 CRYO-U22WB、 CRYO-U22H、 CRYO-U3OH、
日本ULVAC爱发科油回转真空泵VD系列
VD30C / VD40C / VD60C / VD90C/
日本ULVAC螺杆式干式真空泵
爱发科MS120A / MS600A / MS1200A
日本ULVAC爱发科 油回转真空泵
VS系列 ULVAC超真空
VS300A-W
日本ULVAC爱发科超真空泵
油回转真空泵 VS1501/ VS2401
日本ULVAC爱发科
旋片式（单级）油回转真空泵
VS650B-A / VS650B-W / VS650B-WL *1 / VS750B-A / VS750B-W
ULVAC爱发科可选配件
真空干燥器 VDE-3
爱发科ULVAC涡旋式干式真空泵DIS/DISL系列
DIS-252/DISL-252
爱发科ULVAC油回转真空泵
PVD系列
皮带驱动低速旋转泵具有安静、稳定的泵送特性
PVD-180(B) / PVD-360(B)
爱发科ULVAC
多级罗茨干式真空泵
HR/UR系列 UR421-T / UR600 / UR1200 / UR1800 / UR3601-TT/
UR421-T / UR90/ UR90 / UR180 / UR421-T
爱发科ULVAC多级罗茨干式真空泵
GR系列
GR60A GR90A GR180A
爱发科ULVAC 真空泵（低/中真空）
ULVAC 的真空泵是基于我们在真空领域的丰富技术和经验而开发的。除了油回转泵外，我们还拥有适合所有领域、条件和应用的真空泵系列，包括干泵、罗茨型、隔膜型和活塞型。
爱发科ULVAC油回转真空泵VS系列
VS300A-W
爱发科ULVAC油回转真空泵VS系列
VS1501/VS2401
爱发科ULVAC油回转真空泵VS系列
VS650B/VS750B
爱发科ULVAC油回转真空泵VD系列
VD版本C
爱发科ULVAC油回转真空泵
PVD180(B) *1 / PVD-360(B) *1
爱发科ULVAC油回转真空泵
PKS-016 /PKS-030/ PKS-070B *1
爱发科ULVAC油回转真空泵
TMX-1
爱发科ULVAC油回转真空泵
油雾捕集器 TM201
爱发科ULVAC油回转真空泵油雾捕集器
TM401
爱发科ULVAC油回转真空泵油雾捕集器
TM-2
爱发科ULVAC油回转真空泵油雾捕集器
TM-2F
爱发科ULVAC油回转真空泵油雾捕集器
TM-3
爱发科ULVAC油回转真空泵油雾捕集器
TM-3F
爱发科ULVAC油回转真空泵油雾捕集器
TM-4
爱发科ULVAC油回转真空泵油雾捕集器
TM-4F
爱发科ULVAC油回转真空泵油雾捕集器
TM-4S
爱发科ULVAC油回转真空泵G系列
G-5SA
爱发科ULVAC油回转真空泵G系列
G-5DA
爱发科ULVAC油回转真空泵G系列
G-10DA
爱发科ULVAC油回转真空泵G系列
G-20DA
爱发科ULVAC油回转真空泵G系列
G-50DA
爱发科ULVAC油回转真空泵G系列
G-101D
爱发科ULVAC油回转真空泵G系列
G-25SA
爱发科ULVAC油回转真空泵G系列
G-50SA
爱发科ULVAC油回转真空泵G系列
G-5SA
爱发科ULVAC油回转真空泵G系列
G-101S
爱发科ULVAC油回转真空泵GLD/GLS系列
GLS-051
爱发科ULVAC油回转真空泵GLD/GLS系列
GLD-040
爱发科ULVAC油回转真空泵GLD/GLS系列
GLD-051
爱发科ULVAC油回转真空泵GLD/GLS系列
GLD-137AA
爱发科ULVAC油回转真空泵GLD/GLS系列
GLD-137CC
爱发科ULVAC油回转真空泵GLD/GLS系列
GLD-202AA
爱发科ULVAC 油回转真空泵GLD/GLS系列
GLD-202BB
爱发科ULVAC油回转真空泵GLD/GLS系列
GLD-280A
爱发科ULVAC油回转真空泵GHD系列
GHD-031A
爱发科ULVAC油回转真空泵GHD系列
GHD-101A
爱发科ULVAC油回转真空泵GCD系列
GCD-051X
爱发科ULVAC油回转真空泵GCD系列
GCD-136X
爱发科ULVAC油回转真空泵GCD系列
GCD-201X
爱发科ULVAC油回转真空泵油雾捕集器
OMT-050A
爱发科ULVAC油回转真空泵油雾捕集器
OMT-100A/OMT-200A
爱发科ULVAC油回转真空泵内联陷阱
OMI-100/ OMI-200
爱发科ULVAC油回转真空泵油雾分离器
OMC-050/OMC-200
爱发科ULVAC油回转真空泵 前线陷阱
OFI-050C/OFI-200C/OFI-050V/OFI-200V
爱发科ULVAC油回转真空泵 油过滤系统
UFO-003/UFW-003
代 理日本各类工业品:SAN-EI三英(点胶阀），MUSASHI武藏点胶机（点胶机），SINFONIA昕芙旎雅（半导体晶圆搬运设备）UNIX优尼（焊锡机）,Nordson诺信EFD（点胶机），IEI岩下（点胶机），aicohsha爱工舍ACM（立式搅拌机），日本KURABO仓纺脱泡机，日本THINKY日新基脱泡机，KLEENTEK可滤特（静电净油机），ASAHIKASEI旭化成（工业泵），TAGAWA十川（软管），YODOGAWA淀川（集尘机），MALCOM马康（锡膏粘度计），USHIO牛尾（点光源），SHOWA昭和电机（鼓风机），TSUBAKI椿本链条，KIKUSUI菊水（电源），CEDAR思达（扭力测试仪），MEISEI迈泽（电热剥线器）、SANKO山高(膜厚仪)、TAKASAGO高砂制作所（直流电源）、CCS光源(光源)、Tsubosaka壶坂（辉度箱）、POLARION普拉瑞（探照灯）AITEC艾泰克（检查光源）、Iwasaki岩崎（金卤灯）、OTSUKA大塚电子（光学膜厚仪）、KOSAKA小坂（台阶仪）、HORIBA堀场仪器（分析仪）、cosmo科斯莫（气体测试仪）、SIBATA柴田科学（环境测定）、TORAY东丽浓度仪（氧气分析仪）、RION理音（测振仪）、HOKUTO DENKO北斗电工、SANYOSEIKO山阳精工、日本IMV爱睦威地震仪、TML东京测器、TOE东京光电子、SIGMAKOKI西格玛光机、FLOWELL 福威、ASAHI旭有机材、LUCEO鲁西欧（偏光应力仪）、KYOWA共和（应变片）、ONOSOKKI小野（传感器）、FUJIKURA藤仓（单向阀）TOKISANGYO东机产业（粘度计）、SK新泻精机（水平测量尺）SKSATO佐藤（温度记录仪）、TECLOCK得乐（硬度计）、AND爱安得（电子天平）、KEM京都电子（水分仪）、TOHNICHI东日（扭力扳手）、Heishin兵神（定子）、TOKKYOKIKI特许机器（抗震台）、ULVAC爱发科泵、IWAKI易威奇（泵）、kashiyama柏山（干式泵）、MARUYAMA丸山(泵)、AMAYA天谷制作所(半导体晶圆设备)、YUASA汤浅(弯折试验机)、SIMCO思美高（离子棒），SSD西西蒂(离子风扇)，DIT东日技研（防静电），KASUGA春日(离子棒)，TRINC高柳(静电仪器设备)、Kanetec强 力(高斯计)、SAKURAI樱井(无尘纸)、Nitto-Kohki日东工器(快速接头)、NIRECO尼利可(传感器)、TOFCO东富科(流量计)、eoptics颐光科技(反射膜厚仪)、Filmetrics优尼康(膜厚测量仪)、TOKYO KEISO东京计装(超声波液位计)、RKC理化工业(数显控制器)、YAMATO雅玛拓（恒温箱）YAMADA雅玛达(隔膜泵)、KOFLOC小岛(浮子流量计）
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