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FRT光学表面量测仪 FRT MicroProf®TL

参数
  • CAMTEK FRT产品特性
  • 加工定制
  • CAMTEK 品牌
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北京亚科晨旭科技有限公司 2年
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产品详情

FRT光学表面量测仪器 The MicroProf®- Series适用于三维表面计量、研究系统和生产;涉及非接触式无损测量、粗糙度、轮廓、形貌和薄膜厚度等测试方式。

 

适用于硅片Si、化合物(GaAs, InP, SiC, GaN)样片的整体厚度检测及TTV/BOW/Warp翘曲等几何参数检测,该设备可以兼容透明片和不透明片。

FRT Microprof系列设备是针对半导体行业的样片厚度及TTV/BOW/Warp翘曲检测的设备方案。该设备利用白光的光源,上下双探头的设计,测试时样片放置在上下两个探头的中间位置,一次测试可以快速的提供样片厚度及几何参数相关的所有信息:厚度,TTV,Bow,Warp,TIR,LTV等。

同时该设备可以搭载红外IR的探头,该探头可以穿透Si/GaAs等材料,监控背面减薄制程前后Si片或者GaAs片的厚度。FRT Microprof系列设备以其精准的测量能力,非接触的测量方式,快速的测试速度,上下双探头符合SEMI标准的测试方式,使得该设备在半导体,MEMS,在化合物外延领域拥有很高的***。FRT 总部位于德国贝吉施格拉德巴赫,是一家针对***封装和 SiC 器件的高精度计量解决方案供应商。

 

多传感器技术创造了的灵活性:

在现代3D表面计量中,FRT的MicroProf®被确立为标准测量工具。它可用于快速、高效和直观地执行各种测量任务。

MicroProf®已在半导体、微电子、医疗和汽车行业使用多年。地形、台阶高度、粗糙度、层厚和其他参数可以非接触式、非破坏性地测量。

随着FRT开发的多传感器技术,不同的光学测量方法可以组合在一个工具中。根据要求,MicroProf®能够快速测量整个样品的概览以及高分辨率的细节测量——这是通过点、线、表面和层厚传感器以及扫描力显微镜的组合实现的。测量范围可以从米到亚纳米不等。

使用FRT软件,测量任务可以手动或全自动单独配置和实施。

MicroProf®是一种高精度测量工具,可以灵活改装,也节省了空间。

 

从上下两面扫描样品,使用TTV选项,可以进行双面样品测试。在相同的测量过程中可以测量样品的上侧和下侧,也可以确定样品厚度。可以输出总厚度变化(TTV)和其他表面参数,如粗糙度、弯曲、翘曲,两个表面的平整度或两侧的平行度。TTV选项可以轻松改装。

 

样品处理:

即使在自动化测量过程中,自动样本处理也能实现高吞吐率。半导体、MEMS和LED行业尤其需要全自动测量。与MicroProf®MHU,甚至可以对不同样品或晶片进行全自动测量。MicroProf®可全自动分析直径为2至12英寸的晶片,最多四个盒,并完全集成到生产过程中。可选地,测量系统可以配备用于根据所需标准进行样品分选。也可以集成其他样品处理系统,例如SCARA机器人。

 

适用于任何大小的样本:

测量系统可以提供不同的版本。根据样本大小,配置样本架和行程范围。

最小的版本是MicroProf®100,一种桌面工具。两个较大的独立系统,MicroProf®200和MicroProf™300,主要在行程范围大小上有所不同。物料搬运装置(MHU)也可用于这两个系统。从手动测量和评估到带样本处理的全自动执行,您可以自己确定自动化程度。

相应的软件和硬件组件概述如下。

 

不同温度下的表面测量

在热负荷下,组件会发生变化或变形,导致故障甚至故障。因此,在电子工程中,样品的地形评估是不可或缺的以及材料技术。使用MicroProf®TL,您可以在受控的热负荷下测量不同组件的表面形貌。为此,将样品放置在封闭室(玻璃盖)中的加热和冷却板上并加热或冷却。样品温度可以***调节和变化具有可单独配置的温度曲线。不同温度下表面形貌的全自动测量和恒温下的停留时间都是可调的。该热单元可作为所有FRT工具的扩展,并作为单独的模块安装。

 

NTUITIVE用户指南-获取

通过简单的步骤,FRT软件Acquire引导您完成手动测量,从打开工具到执行测量过程。借助结构化的用户指南,您可以轻松执行所有操作

各种手动测量。所有使用的传感器都可以通过软件用户界面进行控制。无论是点测量、剖面测量还是三维测量:设置测量参数,通过直观的实时显示进行监控,并在之后保存您的测量数据。



MicroProf®TL

FRT MicroProf®TL是一种用于全自动3D表面测量的光学表面测量工具。与FRT MicroProf系列的其他家族成员不同,TL具有Thermo Unit(一个完全集成的加热和冷却平台)以及Chemnitzer Werkstoffmmechanik的DLS变形传感器。利用这些特征,MicroProf-TL可用于表征样品在热载荷下的横向和垂直变形。这可用于确定组件在工作条件下的行为或模拟各种工艺步骤。对于测量过程,可以通过简单的配方创建根据需要设置温度循环。

结合Acquire Automation XT软件,MicroProf TL可以运行全自动温度曲线。在配方中,用户可以设置过程中使用的目标温度、温度斜坡和停留时间。可以定义在加热/冷却过程中进行地形和变形测量的设***。***温度记录可用,并且可以选择添加***个温度探头来监测样品特殊位置的温度。

集锦

具有完全集成加热和冷却台的光学表面计量工具

可编程温度控制范围为10°C至400°C

高加热和冷却速率

温度稳定性:<1°C


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