成都西野供应：爱发科ULVAC高性能工艺HGM2-302

面议

参数

日本爱发科ULVAC品牌
HGM2-302型号
1～50 amu适用范围

发货地四川成都 30天内发货供货总量100个

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成都西野供应：爱发科ULVAC高性能工艺Qulee with YTP-H HGM2-302 面议

成都西野供应：爱发科ULVAC反应性工艺）RGM2-202 面议

成都西野供应：爱发科ULVAC反应性工艺）RGM2-302 面议

成都西野供应：爱发科ULVAC气体分析仪专用软件Qulee QCS Ver.4.0 面议

成都西野供应：爱发科ULVAC独立系统HELIOT901W1 面议

成都西野供应：爱发科ULVAC独立系统HELIOT904W2 面议

产品详情

高性能工艺

Qulee HGM2 系列

HGM2-302

ULVAC

带有差动排气系统的四极质谱仪（ Q u l e e w i t h Y T P - H ）是ULVAC结合Q u l e e的丰富实际成果和顾客的需求开发的，实现了功能的充实和使用的简易。
多种真空设备的工艺管理，残留气体分析到R&D都可广泛应用。

特点

***的性价比通过差分排气系统，可以在1台设备上实现从过程监控到残余气体分析（RGA）
紧凑的设计采用标准排气装置Desktop YTP的紧凑型设计
显示部分一体化的设计无需电脑也可进行测量
操作简单 - One Click机能（对每个人来说都很容易，不需要复杂的操作）
可以进行大气压分析包括大气压分析在内，还有监测3000Pa，500Pa，100Pa，10Pa和1Pa的规格
可根据应用选择型号质量数1 ～ 100（BGM2-101/102）、1 ～ 200（BGM2-201/202）、 1 ～ 300（HGM2-302）
低噪音：运行时43dB(A)以下
无需真空计专用显示器：真空计信号可以在操作屏上显示（真空计可选）
完整的检漏功能可以进行氦气检漏和漏气测试
Qulee可对应Ethernet 标准配有QCS(Ver.4) 软件（Windows 7/8/10）

用途

研究开发用途的各种气体分析
溅射设备、真空蒸发设备等工艺中的气体监测
溅射设备、真空蒸发设备等的残留气体分析
高真空排气设备的残留气体分析
真空渗碳炉末端和氧浓度的确认
冷冻干燥设备的干燥点和杂质的确认

Specifications

Model	HGM2-202		HGM2-302
Mass filter type	Quadrupole
Mass range	1 ~ 200 amu		1 ~ 300 amu
Resolution	M/ ΔM=1M(10% P.H.)
Detector type	Faraday cup	SEM	Faraday cup	SEM
Sensitivity	2.5×10⁻⁶ A/Pa	4 A/Pa	2.0×10⁻⁶ A/Pa	4 A/Pa
	3.3×10⁻⁴ A/Torr	533 A/Torr	3.3×10⁻⁴ A/Torr	533 A/Torr
	2.5×10⁻⁴ A/mbar	400 A/mbar	2.5×10⁻⁴ A/mbar	400 A/mbar
Minimum datectable partial pressure	Approx. 10⁻⁹ Pa	Approx. 10^-13Pa	Approx. 10⁻⁹ Pa	Approx. 10^-13Pa
	Approx. 7.5×10^-12 Torr	Approx. 7.5×10^-16 Torr	Approx. 7.5×10^-12 Torr	Approx. 7.5×10^-16 Torr
	Approx. 1×10^-11 mbar	Approx. 1×10^-12 mbar	Approx. 1×10^-11 mbar	Approx. 1×10^-12 mbar
Maximum operating pressure	1×10⁻²Pa
	7.5×10⁻³ Torr
	1×10⁻⁴ mbar
Filament	lr / Y₂O₃, 2pcs
Ionizing voltage	25 ~ 70 eV(defalut:70eV)
Emission current	0.1mA/0.5mA/1.0mA(default:0.5mA)
DEGAS	Electron bombard type 330V, 5mA
Total pressure function	Capable / 10⁻² ~ 10⁻⁵Pa
"One Click" function	Capable / He/H₂O/N₂/O₂/Any gas
"One Click" leak test function	Capable
Power input	DC24V±10% 50W
Weight(sensor unit / sensor)	2.4kg/0.81kg
Maximum sensor operating temperature	250℃(482℉)
Maximum bakeout temperature (elsectronisc removed)	300℃(572℉)
Operating temperature range	10 to 40℃(50 to 104℉)
Operating humigity range	15 ~ 80%(not condensing)
IP rating	IP30(sensor unit)
Power connector	MSTBV2.5/3-STF-5.08
Communication interface	Ethernet compatible
External input / output connector	D-sub15-pin (M2.6 screw)(eith option)
Communication connector	RJ45
External input / output signal	Analog input (0 to 10V)×2,External interlock input (pressure protection)×1,Error output ×1(FIL,SEM,RF,fault),Partial pressure setpoint output ×2(fault,alarm),Total pressure setpoint output ×1
Software	Qulee QCS Ver.4.0 later (Windows 7/8/10)
Standard accessories	Power connector,Communication cable (3m long),Software (install CD),Instruction manual (CD)
Option accessories (cf. Qulee optional catalogue)	Communication cable (10,15,20,30,50m long), AC power adapter, USB-LAN adapter, Switing hub(8ports or 16ports), Input / output connector, Jacket heater, Carry case
Applicable standard	CE