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成都西野供应:爱发科ULVAC高性能工艺HGM2-302

参数
  • 日本爱发科ULVAC品牌
  • HGM2-302型号
  • 1~50 amu适用范围
四川 成都 30天内发货 100个
成都西野贸易有限公司 6年
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产品详情









高性能工艺

Qulee HGM2 系列

HGM2-302

ULVAC

带有差动排气系统的四极质谱仪( Q u l e e w i t h Y T P - H )是ULVAC结合Q u l e e的丰富实际成果和顾客的需求开发的,实现了功能的充实和使用的简易。
多种真空设备的工艺管理,残留气体分析到R&D都可广泛应用。



特点

  • ***的性价比 通过差分排气系统,可以在1台设备上实现从过程监控到残余气体分析(RGA)

  • 紧凑的设计 采用标准排气装置Desktop YTP的紧凑型设计

  • 显示部分一体化的设计 无需电脑也可进行测量

  • 操作简单 - One Click机能(对每个人来说都很容易,不需要复杂的操作)

  • 可以进行大气压分析 包括大气压分析在内,还有监测3000Pa,500Pa,100Pa,10Pa和1Pa的规格

  • 可根据应用选择型号 质量数1 ~ 100(BGM2-101/102)、1 ~ 200(BGM2-201/202)、 1 ~ 300(HGM2-302)

  • 低噪音: 运行时43dB(A)以下

  • 无需真空计专用显示器:真空计信号可以在操作屏上显示(真空计可选)

  • 完整的检漏功能 可以进行氦气检漏和漏气测试

  • Qulee可对应Ethernet 标准配有QCS(Ver.4) 软件(Windows 7/8/10)





用途

  • 研究开发用途的各种气体分析

  • 溅射设备、真空蒸发设备等工艺中的气体监测

  • 溅射设备、真空蒸发设备等的残留气体分析

  • 高真空排气设备的残留气体分析

  • 真空渗碳炉末端和氧浓度的确认

  • 冷冻干燥设备的干燥点和杂质的确认





Specifications


ModelHGM2-202HGM2-302
Mass filter typeQuadrupole
Mass range1 ~ 200 amu1 ~ 300 amu
ResolutionM/ ΔM=1M(10% P.H.)
Detector typeFaraday cupSEMFaraday cupSEM
Sensitivity2.5×10⁻⁶ A/Pa4 A/Pa2.0×10⁻⁶ A/Pa4 A/Pa
3.3×10⁻⁴ A/Torr533 A/Torr3.3×10⁻⁴ A/Torr533 A/Torr
2.5×10⁻⁴ A/mbar400 A/mbar2.5×10⁻⁴ A/mbar400 A/mbar

Minimum datectable partial pressure

Approx. 10⁻⁹ PaApprox. 10-13PaApprox. 10⁻⁹ PaApprox. 10-13Pa
Approx. 7.5×10-12 TorrApprox. 7.5×10-16 TorrApprox. 7.5×10-12 TorrApprox. 7.5×10-16 Torr
Approx. 1×10-11 mbarApprox. 1×10-12 mbarApprox. 1×10-11 mbarApprox. 1×10-12 mbar
Maximum operating pressure1×10⁻²Pa
7.5×10⁻³ Torr
1×10⁻⁴ mbar
Filamentlr / Y₂O₃, 2pcs
Ionizing voltage25 ~ 70 eV(defalut:70eV)
Emission current0.1mA/0.5mA/1.0mA(default:0.5mA)
DEGASElectron bombard type 330V, 5mA
Total pressure functionCapable / 10⁻² ~ 10⁻⁵Pa
"One Click" functionCapable / He/H₂O/N₂/O₂/Any gas
"One Click" leak test functionCapable
Power inputDC24V±10% 50W
Weight(sensor unit / sensor)2.4kg/0.81kg
Maximum sensor operating temperature250℃(482℉)

Maximum bakeout temperature

(elsectronisc removed)

300℃(572℉)
Operating temperature range10 to 40℃(50 to 104℉)
Operating humigity range15 ~ 80%(not condensing)
IP ratingIP30(sensor unit)
Power connectorMSTBV2.5/3-STF-5.08
Communication interfaceEthernet compatible
External input / output connectorD-sub15-pin (M2.6 screw)(eith option)
Communication connectorRJ45
External input / output signalAnalog input (0 to 10V)×2,External interlock input (pressure protection)×1,Error output ×1(FIL,SEM,RF,fault),Partial pressure setpoint output ×2(fault,alarm),Total pressure setpoint output ×1
SoftwareQulee QCS Ver.4.0 later (Windows 7/8/10)
Standard accessoriesPower connector,Communication cable (3m long),Software (install CD),Instruction manual (CD)

Option accessories

(cf. Qulee optional catalogue)

Communication cable (10,15,20,30,50m long), AC power adapter, USB-LAN adapter, Switing hub(8ports or 16ports), Input / output connector, Jacket heater, Carry case
Applicable standardCE

※Please prepare an AC/DC power supply or please purchase the AC/DC adapter of an option.







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