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ENI GHW12Z-13DF2N0-001 射频发生器 智能控制器模块 卡件模块

参数
  • 卡件模块产品特性
  • 否是否进口
  • 美国产地
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瑞昌明盛自动化设备有限公司 6年
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产品详情

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产品特色

ENI GHW12Z-13DF2N0-001 射频发生器,GHW 系列 13.56MHz 固态射频电源,适配 AMAT 半导体机台等离子工艺。

产品特点:


1. 超快失配保护响应,负载反射功率突增时快速限制输出,保护腔体与靶材

2. 功率调节精度高,等离子体状态稳定,***薄膜工艺重复性

3. 低杂散射频输出,减少对机台周边传感器信号干扰

4. 19 英寸标准机架结构,方便机柜集成安装与拆装检修

5. 完善内部自检,开机自动诊断,缩短故障排查时间

产品参数:

6. 型号:GHW12Z-13DF2N0-001

7. 工作频率:13.56MHz

8. 额定输出功率:1250W

9. 通讯接口:RS232 串口

10. 射频接口:N 型射频接头

应用领域:

11. PECVD 等离子增强化学气相沉积供电

12. HDPCVD 高密度等离子体薄膜工艺

13. 半导体介质层刻蚀设备射频源

14. 平板显示薄膜制备工艺

15. AMAT 机台 GHW 系列射频电源备件更换

等离子薄膜设备备件更换,ENI GHW12Z-13DF2N0-001 射频发生器可以直接匹配原有设备回路。

企业介绍
企业简介:

 

瑞昌明盛自动化设备有限公司是一家专业 (DCS系统)(机器人系统)(大型伺服控制系统)模块 备件销售,公司产品内容为分布式控制系统(DCS) ,可编程序控制器(PLC), MOTOROLA MVME工业用模组 ,工业控制通訊转换器(Anybus) ,远端输出/输入模块(RTU) ,工业电脑(IPC)、 工业用低頻萤幕(IPC) ,人机界面SCSI(50,68,80Pin) AnyBus(Gateway 

公司自成立以来始终坚持以纯电子商务模式运营,缩减中间环节,为消费者在***时间提供优质的产品及满意的服务,为您的生产以及采购工作提供‘安全 快捷 方便’ 


售后说明
  • 物流配送

  • 我们使用顺丰快递/德邦快递

  • 付款方式

  • 对公付款,全款到账发货

  • 退换货政策

  • 所有产品享受一年保修期

  • 票据制度

  • 可开具增值税发票


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