VAT 65046-PAHP-APF2 隔离闸阀智能控制器模块卡件模块

¥1.25万 1 - 99个
¥1.23万 ≥100个

卡件模块产品特性
否是否进口
美国产地

发货地江西瑞昌市 30天内发货供货总量100个

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产品作用：
VAT 65046-PAHP-APF2 隔离闸阀，属于 650 系列摆阀，兼具压力调节与真空隔离双重功能，半导体机台下游压力控制核心阀件。
产品特点：
1. 摆板式节流结构，可连续调节流导，精准稳定腔体真空压力
2. 双密封旋转馈通设计，低漏率，隔绝腔体内外气体互通
3. 阀板启闭动作柔和，微粒释放极低，保护晶圆工艺环境
4. 内置断电保护机构，异常工况下保持阀位，防止真空突变
5. 集成位置反馈传感器，实时上传阀板开度，方便上位机闭环管控
产品参数：
6. 型号：65046-PAHP-APF2
7. 系列：VAT 650 摆式真空控制阀
8. 通径：DN200
9. 驱动：步进电机驱动
10. 法兰：***-F 标准法兰
应用领域：
11. 半导体刻蚀设备腔体压力调控
12. PVD、CVD 薄膜沉积真空管路隔离
13. 平板显示镀膜工艺真空系统
14. 等离子工艺尾气压力稳压控制
15. VAT 650 系列真空阀备件替换
真空工艺管路检修更换，VAT 65046-PAHP-APF2 隔离闸阀可稳定管控腔体压力。

企业简介：

瑞昌明盛自动化设备有限公司是一家专业（DCS系统）（机器人系统）（大型伺服控制系统）模块备件销售,公司产品内容为分布式控制系统(DCS) ,可编程序控制器(PLC)， MOTOROLA MVME工业用模组，工业控制通訊转换器(Anybus) ，远端输出/输入模块(RTU) ，工业电脑(IPC)、工业用低頻萤幕(IPC) ，人机界面SCSI(50,68,80Pin) AnyBus(Gateway

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