Lam 660-093818-002 射频电源智能控制器模块卡件模块

¥1.25万 1 - 99个
¥1.23万 ≥100个

卡件模块产品特性
否是否进口
美国产地

发货地江西瑞昌市 30天内发货供货总量100个

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产品作用：
Lam 660-093818-002 射频电源是刻蚀机台配套专用射频发生器，半导体备件市场流通很常见
1. 输出功率响应速度快，能快速匹配腔体负载变化，***等离子工艺稳定
2. 内置电弧保护回路，腔体内打火时立刻抑制功率，保护机台与晶圆
3. 自带机台专属通讯协议，可直接接入 Lam 设备主控系统，适配性强
4. 低纹波射频输出，减少工艺波动，提升晶圆加工良率
5. 机架式一体化结构，拆装替换简单，产线停机维修耗时短
1. 型号 660-093818-002，Lam 原厂配套射频电源
2. 额定输出功率 2500W
3. 射频工作频率 13.56MHz
4. 标准 50Ω 输出阻抗
5. 支持本地面板与远程两种功率调控
这款射频电源多用于半导体等离子刻蚀相关制程
1.Lam 系列晶圆刻蚀机射频供电
2. 硅片等离子表面处理工艺
3. 介质薄膜干法刻蚀加工
4. 半导体设备备件更换维修
5. 真空等离子腔体配套功率源
总的来说 Lam 660-093818-002 是成熟的 2.5kW 射频源，是 Lam 刻蚀设备维修替换的核心备件

企业简介：

瑞昌明盛自动化设备有限公司是一家专业（DCS系统）（机器人系统）（大型伺服控制系统）模块备件销售,公司产品内容为分布式控制系统(DCS) ,可编程序控制器(PLC)， MOTOROLA MVME工业用模组，工业控制通訊转换器(Anybus) ，远端输出/输入模块(RTU) ，工业电脑(IPC)、工业用低頻萤幕(IPC) ，人机界面SCSI(50,68,80Pin) AnyBus(Gateway

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