ADTEC 0190-24250 射频等离子体发生器智能控制器模块卡件模块

¥1.25万 1 - 99个
¥1.23万 ≥100个

卡件模块产品特性
否是否进口
美国产地

发货地江西瑞昌市 30天内发货供货总量100个

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产品作用：
ADTEC 0190-24250 射频等离子体发生器也就是 AX-3000Ⅲ，半导体工艺里很常用
1. 搭载线性放大电路，功率输出平稳，工艺重复性好
2. 内置快速电弧检测与抑制功能，遇到打火可以快速保护
3. 可承受较高反射功率，腔体阻抗波动时也不容易停机
4. 支持脉冲射频输出，适配精细刻蚀、薄膜沉积工艺
5. 自带多类型通讯接口，方便接入设备主控系统做联动控制
1. 型号 0190-24250（AX-3000Ⅲ）
2. 输出功率 2300W
3. 标准射频频率 13.56MHz
4. 机架式安装，适配半导体机台标准机柜
5. 风冷散热设计，维护简单
这款发生器适配的工艺场景集中在真空等离子制程
1. 半导体晶圆刻蚀设备
2. 薄膜 PVD、CVD 沉积工艺
3. 晶圆表面等离子清洗
4.MEMS 器件等离子加工
5. 平板显示面板等离子处理
总的来说 ADTEC 0190-24250 是一款成熟稳定的射频源，多用于精密半导体真空等离子工艺

企业简介：

瑞昌明盛自动化设备有限公司是一家专业（DCS系统）（机器人系统）（大型伺服控制系统）模块备件销售,公司产品内容为分布式控制系统(DCS) ,可编程序控制器(PLC)， MOTOROLA MVME工业用模组，工业控制通訊转换器(Anybus) ，远端输出/输入模块(RTU) ，工业电脑(IPC)、工业用低頻萤幕(IPC) ，人机界面SCSI(50,68,80Pin) AnyBus(Gateway

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