Edwards A533-55-945 干式真空泵智能控制器模块卡件模块

¥1.25万 1 - 99个
¥1.23万 ≥100个

卡件模块产品特性
否是否进口
美国产地

发货地江西瑞昌市 30天内发货供货总量100个

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产品作用：
Edwards A533-55-945 干式真空泵，属于 IL70N 系列无油干泵，是半导体工艺前级抽气主力泵。
产品特点：
1. 无油干式结构，不会向腔体引入油污染，保障工艺洁净
2. 耐腐蚀泵腔设计，可处理刻蚀、沉积产生的腐蚀性工艺尾气
3. 内置气扫保护，减少副产物沉积，延长泵体使用寿命
4. 运行噪音偏低，产线机柜环境适配性好
5. 自带状态监测接口，方便远程监控泵运行参数
产品参数：
6. 型号：A533-55-945
7. 泵型：IL70N 多级干式真空泵
8. 抽气介质：腐蚀性工艺气体
9. 驱动：内置电机一体式结构
10. 通讯：支持设备信号反馈
应用领域：
11. 半导体刻蚀设备前级真空抽取
12. CVD 薄膜沉积工艺真空配套
13. 等离子工艺尾气抽排
14. 平板显示面板制程真空系统
15. Edwards IL70N 系列旧泵备件替换
半导体腐蚀工艺真空维保，Edwards A533-55-945 干式真空泵适配原有产线工况。

企业简介：

瑞昌明盛自动化设备有限公司是一家专业（DCS系统）（机器人系统）（大型伺服控制系统）模块备件销售,公司产品内容为分布式控制系统(DCS) ,可编程序控制器(PLC)， MOTOROLA MVME工业用模组，工业控制通訊转换器(Anybus) ，远端输出/输入模块(RTU) ，工业电脑(IPC)、工业用低頻萤幕(IPC) ，人机界面SCSI(50,68,80Pin) AnyBus(Gateway

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